前开式晶圆传送盒

✍ dations ◷ 2025-09-10 18:54:22 #半导体器件制造,容器

前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器,其内部可以容纳25片的300mm晶圆,而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭,是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。它最重要的功用是确保每25片的晶圆在它的保护下避免在每一台生产机台之间的传送被外部环境中的微尘污染,进而影响到良率。是先进的12吋晶圆厂重要的生产工具。

相关

  • 异型增生发育不良(英语:Dysplasia)也称为发育异常,是病理学的词语,是指生物组织发育时的异常,或是上皮部位在分化及发育的问题(上皮发育不良(英语:epithelial dysplasia))。像髋关节发育不全症(
  • 玫瑰糠疹玫瑰糠疹(Pityriasis rosea)是一种皮疹。它是良性的,但在某些情况下可能会造成很大的不适。 典型的玫瑰糠疹,开始出现单一的母斑样的皮肤损害,然后在一周或两周内,出现全身广泛的
  • 阿尔多·莫罗阿尔多·莫罗(Aldo Moro,1916年9月23日-1978年5月9日)意大利政治家,1963年至1968年及1974年至1976年两次出任意大利总理,是意大利在第二次世界大战后任职最长的总理之一,共任职六年
  • 塞万提斯学院塞万提斯学院(西班牙语:Instituto Cervantes)由西班牙政府于1991年创办,是世界性的非营利组织,以推广西班牙语,以至西班牙及美洲西班牙语地区文化为目的。其总部设于马德里阿尔拉
  • 重力微子重力微子(英语:Gravitino)为结合广义相对论与超对称的超引力理论所预言的一个粒子。其为引力子的超对称伴粒子,是一规范费米子。目前还是一种假想粒子,也被提议为暗物质的候选者
  • 南湖双叶兰南湖双叶兰(学名:),又称“台湾对叶兰”,为兰科双叶兰(对叶兰)属下的一个种,产于台湾北部树林下,7月开花。
  • 何塞·马里亚·佩拉尔塔何塞·马里亚·佩拉尔塔(西班牙语:José María Peralta,1807年12月-1883年12月6日),生于圣萨尔瓦多,1859年2月15日至3月12日任萨尔瓦多总统。佩拉尔塔卒于圣萨尔瓦多。
  • 阿斯图里亚斯-莱昂语支阿斯图里亚斯-莱昂语支是罗曼语族西伊比利亚语支的一个下属语支。阿斯图里亚斯-莱昂语支包括了阿斯图里亚斯语、莱昂语、米兰德斯语、埃斯特雷马杜拉语、坎塔布连方言等语言
  • 慈昌慈昌(日语:慈昌/じしょう,天文13年1月10日(1544年2月2日)- 元和6年11月2日(1620年11月25日))是日本安土桃山时代到江户时代的净土宗僧人。号为贞莲社源誉存应(贞莲社源誉存応)。出生于
  • 台烈镇台烈镇,是中华人民共和国贵州省黔东南苗族侗族自治州三穗县下辖的一个乡镇级行政单位。台烈镇下辖以下地区:台烈村、寨拷村、果界村、上坪村、颇洞村、寨塘村、稿雪村、绞颇村