外延(英语:Epitaxy),是指一种用于半导体器件制造过程中,在原有芯片上长出新结晶以制成新半导体层的技术。此技术又称外延成长(Epitaxial Growth),或指以外延技术成长出的结晶,有时可能也概指以外延技术制作的晶粒。
外延技术可用以制造硅晶体管到CMOS集成电路等各种组件,尤其在制作化合物半导体例如砷化镓外延晶圆(英语:Epitaxial wafer)时,外延尤其重要。
外延(英语:Epitaxy),是指一种用于半导体器件制造过程中,在原有芯片上长出新结晶以制成新半导体层的技术。此技术又称外延成长(Epitaxial Growth),或指以外延技术成长出的结晶,有时可能也概指以外延技术制作的晶粒。
外延技术可用以制造硅晶体管到CMOS集成电路等各种组件,尤其在制作化合物半导体例如砷化镓外延晶圆(英语:Epitaxial wafer)时,外延尤其重要。