氟甲烷

✍ dations ◷ 2025-08-10 16:02:50 #氟代烃,制冷剂

0.557 g/cm3(25°C气体，饱和蒸气压)

氟甲烷，也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41，其化学式为CH₃F，在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体，是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中，在射频场下氟甲烷会溶解氟离子，可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜，即反应性离子蚀刻(reactive-ion etching)。

在氟甲烷中，C-F键的键能为552 kJ/mol，其键长为0.139 nm(典型的C-F键键长为0.14 nm)。分子构型为四面体。

氟甲烷25度时的比热C_p为38.171 J.mol−1.K−1。临界点为44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。

氟甲烷是温室气体，其全球暖化潜势(GWP)为150。

CH₃F · CH₃Cl · CH₃Br · CH₃I

CH₂F₂ · CH₂ClF · CH₂BrF · CH₂FI · CH₂Cl₂ · CH₂BrCl · CH₂ClI · CH₂Br₂ · CH₂BrI · CH₂I₂

CHF₃ · CHClF₂ · CHBrF₂ · CHF₂I · CHCl₂F · CHBrClF* · CHClFI* · CHBr₂F · CHBrFI* · CHFI₂ · CHCl₃ · CHBrCl₂ · CHCl₂I · CHBr₂Cl · CHBrClI* · CHClI₂ · CHBr₃ · CHBr₂I · CHBrI₂ · CHI₃

CF₄ · CClF₃ · CBrF₃ · CF₃I · CCl₂F₂ · CF₂BrCl · CClF₂I · CBr₂F₂ · CBrF₂I · CF₂I₂ · CCl₃F · CBrCl₂F · CCl₂FI · CBr₂ClF · CBrClFI* · CClFI₂ · CBr₃F · CBr₂FI · CBrFI₂ · CFI₃ · CCl₄ · CBrCl₃ · CCl₃I · CBr₂Cl₂ · CBrCl₂I · CCl₂I₂ · CBr₃Cl · CBr₂ClI · CBrClI₂ · CClI₃ · CBr₄ · CBr₃I · CBr₂I₂ · CBrI₃ · CI₄

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