乙硅烷（英语：Disilane），又称硅乙烷，是一种有毒的化合物，分子式为Si2H6，在室温下为气态。它的性质与乙烷很类似，都是无色易燃的气体，但是它的硅-硅键比乙烷的碳-碳键还来的弱，因此比乙烷还不稳定。乙硅烷通常是氢很好的来源，只要经过简单的化学反应就可以得到氢。另外它也可以用来以薄膜沉积制备纯硅，是半导体工业重要的特用电子级气体之一。
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乙硅烷
✍ dations ◷ 2025-06-28 11:11:46 #无机硅化合物,硅烷,氢化物
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