化学气相沉积

✍ dations ◷ 2025-11-21 13:32:03 #化学气相沉积

化学气相沉积（英语：chemical vapor deposition，简称CVD）是一种用来产生纯度高、性能好的固态材料的化学技术。半导体产业使用此技术来成长薄膜。典型的CVD工艺是将晶圆（基底）暴露在一种或多种不同的前趋物下，在基底表面发生化学反应或/及化学分解来产生欲沉积的薄膜。反应过程中通常也会伴随地产生不同的副产品，但大多会随着气流被带走，而不会留在反应腔（reaction chamber）中。微制程大都使用CVD技术来沉积不同形式的材料，包括单晶、多晶、非晶及外延材料。这些材料有硅、碳纤维、碳纳米纤维、纳米线、纳米碳管、SiO2、硅锗、钨、硅碳、氮化硅、氮氧化硅及各种不同的high-k介质（英语：High-κ dielectric）等材料。CVD制程也常用来生成合成钻石。一些CVD技术被广泛地使用及在文献中被提起。这些技术有不同的起始化学反应机制（如活化机制）及不同的工艺条件。本节讨论通常用于集成电路的CVD工艺。不同的材料会应用于不同的环境。多晶硅是从硅烷（SiH4）沉积所得到的。使用以下反应：这种反应通常使用低压化学气相沉积系统（LPCVD），使用单纯的硅烷或用70-80％的氮硅烷作为原料。在温度在600°C至650°C之间，压力为25~150帕斯卡的条件下，沉积速度在每分钟10至20纳米之间。另一种工艺使用氢为还原剂。氢气会降低增长速度，所以温度提高到850甚至1050℃进行补偿。多晶硅的沉积可以和掺杂同时进行。即把磷，砷或者乙硼烷加入CVD反应腔。乙硼烷的会令增长率增加，但砷化氢和磷化氢会令沉积速度减小。SiH4+O2➡️SiO2+2H2Parylene-N的单体经过高温炉（约摄氏600-800度）裂解后会形成自由基,而最后随着带入的惰性气体沉积在低温的表面上大多数parylenes是钝化薄膜或涂层。这意味着他们保护的设备可以防止水，化学品的侵害。这是一个重要的特点，然而在许多应用上都需要键结的其他材料在聚对二甲苯上，例如对二甲苯对二甲苯，对二甲苯表面固定催化剂或酶......。一些的反应性对二甲苯，例如:1.胺基对二甲苯（一个胺在每个重复单元，Kisco公司产品）2.一甲基胺对二甲苯（一甲基胺每个重复单元，Kisco公司产品）一甲基胺对二甲苯比胺基对二甲苯有更大的反应性，因为它带着更强的硷基。当相邻的苯环胺组，胺基，是在稳定的共振，因此变得更加酸性，相对碱性较弱。然而是更容易合成，因此它的成本较低。

相关

航空事故航空事故是指航空器因为人为或非人为因素导致事故出现，可以按严重性分为三大类：航空器失事（或称“空难”）（Accident）、航空重大意外（Serious Incident）和航空意外（Incident）。航空器失
磷脂酶磷脂酶（英语：Phospholipase）是一种将磷脂质水解为脂肪酸及亲脂性物质的酵素。磷脂酶主要依据其催化反应的对象分为四类，即磷脂酶A、B、C、D四种。磷脂酶A1－切SN-1酰基磷脂酶A2－切
大写高度在西文字体排印学中，大写字高（英语：Cap height）是指某种字体中，位于基线（baseline）以上的大写字母的高度。尤其指相对平顺的字母“H”和“I”的高度。因为圆型的字母“O”和尖形字
决定性问题在可计算性理论与计算复杂性理论中，所谓的决定性问题（Decision problem）是一个在某些形式系统回答是或否的问题。例如：“给两个数字x与y，x是否可以整除y？”便是决定性问题，此问题可
模糊集模糊集是模糊数学上的一个基本概念，是数学上普通集合的扩展。给定一个论域 U {\displaystyle U} ，那么从
福冈大学福冈大学福冈大学（日语：ふくおかだいがく，英语：The University of Fukuoka / Fukuoka University）是一所位于日本福冈县福冈市的私立大学。
泛音列泛音列（英语：Harmonic series、德语：Naturtonreihe、意大利语：Armonici naturali），又称分音列（一般分音列包括基音，而泛音列不包括基音），指的是频率是基音频率的整数倍的一系列的声音，
甲芬那酸甲芬那酸（英文：Mefenamic acid、或称为甲灭酸与扑湿痛、莫炎500毫克膜衣锭），是一种非类固醇消炎止痛药，用途是用来治疗包括经痛等的疼痛。这种药物在美国的上市商品名称为“Ponst
中央高原法国中央高原，又译中央山地（法语：Massif Central、奥克语：Massís Central / Massís Centrau），位于法国中南部，为一火山高原。北为西欧平原，东界隆河，南为比利牛斯山脉。最高点为桑
圣尼古拉斯圣尼古拉（希腊语：Άγιος Νικόλαος，Hagios Nikólaos，拉丁语：Sanctus Nicolaus，荷兰语：Sinterklaas，英语：Saint Nicholas，约270年～343年）基督教圣徒，米拉城（今土耳其境内）的主教