首页 >
化学气相沉积
✍ dations ◷ 2025-07-22 23:31:27 #化学气相沉积
化学气相沉积(英语:chemical vapor deposition,简称CVD)是一种用来产生纯度高、性能好的固态材料的化学技术。半导体产业使用此技术来成长薄膜。典型的CVD工艺是将晶圆(基底)暴露在一种或多种不同的前趋物下,在基底表面发生化学反应或/及化学分解来产生欲沉积的薄膜。反应过程中通常也会伴随地产生不同的副产品,但大多会随着气流被带走,而不会留在反应腔(reaction chamber)中。微制程大都使用CVD技术来沉积不同形式的材料,包括单晶、多晶、非晶及外延材料。这些材料有硅、碳纤维、碳纳米纤维、纳米线、纳米碳管、SiO2、硅锗、钨、硅碳、氮化硅、氮氧化硅及各种不同的high-k介质(英语:High-κ dielectric)等材料。CVD制程也常用来生成合成钻石。一些CVD技术被广泛地使用及在文献中被提起。这些技术有不同的起始化学反应机制(如活化机制)及不同的工艺条件。本节讨论通常用于集成电路的CVD工艺。不同的材料会应用于不同的环境。多晶硅是从硅烷(SiH4)沉积所得到的。使用以下反应:这种反应通常使用低压化学气相沉积系统(LPCVD),使用单纯的硅烷或用70-80%的氮硅烷作为原料。在温度在600°C至650°C之间,压力为25~150帕斯卡的条件下,沉积速度在每分钟10至20纳米之间。另一种工艺使用氢为还原剂。氢气会降低增长速度,所以温度提高到850甚至1050℃进行补偿。
多晶硅的沉积可以和掺杂同时进行。即把磷,砷或者乙硼烷加入CVD反应腔。乙硼烷的会令增长率增加,但砷化氢和磷化氢会令沉积速度减小。SiH4+O2➡️SiO2+2H2Parylene-N的单体经过高温炉(约摄氏600-800度)裂解后会形成自由基,而最后随着带入的惰性气体沉积在低温的表面上大多数parylenes是钝化薄膜或涂层。这意味着他们保护的设备可以防止水,化学品的侵害。这是一个重要的特点,然而在许多应用上都需要键结的其他材料在聚对二甲苯上,例如对二甲苯对二甲苯,对二甲苯表面固定催化剂或酶......。一些的反应性对二甲苯,例如:1.胺基对二甲苯(一个胺在每个重复单元,Kisco公司产品)2.一甲基胺对二甲苯(一甲基胺每个重复单元,Kisco公司产品)一甲基胺对二甲苯比胺基对二甲苯有更大的反应性,因为它带着更强的硷基。当相邻的苯环胺组,胺基,是在稳定的共振,因此变得更加酸性,相对碱性较弱。然而是更容易合成,因此它的成本较低。
相关
- 内科人体解剖学 - 人体生理学 组织学 - 胚胎学 人体寄生虫学 - 免疫学 病理学 - 病理生理学 细胞学 - 营养学 流行病学 - 药理学 - 毒理学内科学是临床医学的专科,几乎是所有其
- 回肠在人体解剖学中,回肠是人的消化器官之一。回肠(Ileum)是小肠的最后一段,在十二指肠和空肠的下面。人的回肠约占小肠全长的五分之三,约有2-4米长。回肠多盘于腹腔右下部,借小肠系膜
- HLA-A2XPG, 3RL1, 3RL2· plasma membrane · integral to plasma membrane · ER to Golgi transport vesicle membrane · integral to membrane · phagocytic vesicle me
- 社会学史实证主义 · 反实证主义(英语:Antipositivism) 结构主义 · 冲突理论 中层理论 · 形式理论 批判理论人口 · 团体 · 组织(英语:Organizational theory) · 社会化 社会性
- 小鼠小家鼠(学名:Mus musculus)也称为家鼠、鼷鼠或小鼠。小家鼠体长约8厘米,尾巴略短或略长于体长;毛色变化大,从黑灰色到灰褐色,腹毛基部为灰色,尖端常为灰黄色,有的呈灰白色,有的腹毛全
- 硫循环硫循环(英语:Sulfur cycle)是一些过程的集合,其中包括硫在矿物质(包括水体)和生命系统之间移动进出过程。这样的生物地质化学循环对于地质学是重要的,因为它们会影响多种矿物质。生
- 哈伯太空望远镜哈勃空间望远镜(英语:Hubble Space Telescope,HST),是以天文学家爱德温·哈勃为名,在地球轨道的望远镜。哈勃望远镜接收地面控制中心(美国马里兰州的霍普金斯大学内)的指令并将各种
- 国家宪法法国宪法 是以宪章和宪法等名义颁布并优先于其它任何层次法律(参考:法国法律中的标准层次(法语:hiérarchie des normes en droit français))的用以组织法国历代及当代国家机关的
- 间隙接合间隙连接(Gap junction),或称缝隙连接,是细胞连接的一种,神经细胞之间的间隙连接又称电突触(Electrical synapse),是一种特化的动物细胞间连接,广泛地存在于各种动物组织中。间隙连接
- 伪基因假基因(Pseudogenes,Pseudo-意为“假”)是一类染色体上的基因片段。假基因的序列通常与对应的基因相似,但至少是丧失了一部分功能,如基因不能表达或编码的蛋白质没有功能。一般认