脉冲激光沉积

✍ dations ◷ 2025-11-11 10:47:37 #脉冲激光沉积

脉冲激光沉积（英语：Pulsed Laser Deposition，PLD），也被称为脉冲激光烧蚀（英语：pulsed laser ablation，PLA）为物理气相沉积(英语：Physical Vapor Deposition，PVD)的一种 , 是一种利用聚焦后的高功率脉冲激光于真空腔体中对靶材进行轰击，由于激光能量极强，会将靶材汽化形成等离子蕈状团(plasma plume)，并沉淀于基板上形成薄膜。于镀膜可于高真空、超高真空或通入工作气体(如欲沉积氧化物薄膜，通常会通入氧气作为其工作气体)的环境下进行。于脉冲激光沉积的过程中，激光的能量被靶材吸收之后，能量首先激发靶材内部的电子跃迁，之后再转成热能等使靶材汽化形成等离子态，于等离子云中，包含分子、原子、电子、离子、微粒、融球体等物质。

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