六氟化氙（化学式：XeF6）是稀有气体氙的氟化物之一，室温下为稳定的无色晶体，是很强的氟化剂。六氟化氙可由二氟化氙在300°C和6MPa下长期加热得到。
XeF6结构的确定颇费了一些时间。气态时的六氟化氙为单分子，采取略畸变的八面体结构，能迅速发生分子重排，存在着几种电子排列的异构体。进一步计算表明，该分子的点群为C3v，但计算结果也说明Oh点群只是略高一些。稀有气体和氟化学权威Konrad Seppelt认为，对结构最好的描述是一对电子在八面体的面和角上移动，因此造成了动力学的变形。固态时，六氟化氙为四聚体，四个等同的氙处于四面体的顶点，24个氟位于外围，可以发生相互交换。
六氟化氙分多步水解，最终产物是三氧化氙：
XeF6可作路易斯酸与一个或两个氟离子反应生成配离子：
与氟化铷生成的加合物Rb2XeF8非常稳定，400°C以上才分解。氙的另外两个常见氟化物，二氟化氙和四氟化氙不与氟离子生成稳定的路易斯酸碱加合物。
