5纳米制程是半导体制造制程的一个水准。在半导体器件制造中，《国际器件和系统路线图》将5纳米工艺定义为继7纳米之后MOSFET技术节点。商用5纳米制程基于具有FinFET（鳍式场效应晶体管）的多闸极晶体管（MuGFET）技术。还有已经证明的5纳米GAAFET（环绕栅场效应晶体管）技术，但尚未商业化。2020年初，三星电子和台积电已经开始5纳米制程的有限风险试产，并计划在2020年底开始批量生产。2020年9月15日，由台积电制造的Apple A14 Bionic成为首个公开发表的5纳米制程芯片。
英特尔最早在2009年蓝图规划于2020年推出此制程，而后2019年的蓝图中更新为2023年推出。
全球最大晶圆代工厂台积电（TSMC）和三星电子皆宣布5纳米制程将于2020年进入量产期，并将首先用于生产智能手机芯片。2020第一季台积电抢先投产，首款产品为苹果A14，并将后续优化的制程命名为4纳米，预计2023年量产。
5纳米的后继制程计划是3纳米。
5 nm 光刻制程 页面存档备份，存于互联网档案馆
