在微技术领域中,光罩检测(英语:mask inspection)是检查光罩制作正确性的操作技术。用于定位光罩缺陷的是高级自动化系统,如扫描电子显微镜等。“光罩检测”一词也可能非正式地指称真正写入光罩前的光罩资料检测(mask data inspection)。
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光罩检测
✍ dations ◷ 2025-06-30 23:30:34 #光罩检测
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