净室

✍ dations ◷ 2024-12-22 19:05:04 #半导体器件制造,房间,过滤器

净室,又称无尘室、洁净室或清净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是净室中的灰尘。

净室的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,净室可以占据厂房很多位置。

净室系统,制造符合规格之洁净空气,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,净室内的制造区(FAB)。一般而言,制造洁净空气之气源为外气(OUTSIDE AIR),经过净室系统各种处理单元设备之处理后进而得到符合规格之洁净空气。以下简单介绍其处理流程:外气经由外气空调箱(Make-up Air Unit或MAU)初步过滤微尘(particle)并控制其温湿度后,经由回风管道间(Mech. Chase),将净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管(Dry Cooling Coil)将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,透过循环风扇(Fan Filter Unit或FFU)带动净室的气流循环带走微尘及热量,最后经过超高性能过滤网(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)过滤后,供应至Fab区。

列表描述了在各级别净室所需达到的每立方英尺(美国标准)或每立方米(ISO标准)最高可容许粒子数目:

备注:此标准已于2001年11月29日取消参考: https://web.archive.org/web/20060208191024/http://www.iest.org/publctns/fedstd209.htm

净室也是应用在软件工程中的一个术语。

相关

  • 序列序列(sequences)在数学领域,是被排成一列的对象(或事件);这样,每个元素不是在其他元素之前,就是在其他元素之后。这里,元素之间的顺序非常重要。例如,(C,Y,R)是一个字母的序列:顺序是C
  • 游走性节律点游走性节律点(Wandering Pacemaker),是由于节律点的位置不停改变所致。在心电图上,可看见节律不定,及P波外型不定。节律不定是因为由不同节律点发出的激动波,其速率不同。而P波
  • 冥界节庆:冥界,在希腊神话中,是人类在死后的灵魂所去的另一个世界,在冥界生活的神和灵魂统称克托尼俄斯。类似于中国民间信仰中的阴间,此处也是古希腊人原有的来世观(英语:afterlife)的
  • 十二指肠溃疡消化性溃疡(英语:peptic ulcer disease,简称PUD),又称胃及十二指肠溃疡。这是指胃、小肠前段(十二指肠)或幽门,有时也包含了食道下端的黏膜损伤(溃疡)。在胃发生的溃疡称作胃溃疡(英语:s
  • 米勒县米勒县(Miller County, Georgia)是美国乔治亚州西南部的一个县。面积735平方公里。根据美国2000年人口普查,共有人口6,383人。县治科尔奎特 (Colquitt)。成立于1856年2月26日。
  • 变分学变分法是处理泛函的数学领域,和处理函数的普通微积分相对。譬如,这样的泛函可以通过未知函数的积分和它的导数来构造。变分法最终寻求的是极值函数:它们使得泛函取得极大或极小
  • 自然垄断自然垄断(Natural Monopoly)指因产业发展的自然需要而形成的垄断状态。由于一个企业能以低于两个或更多企业的成本向整个市场供给一种物品或服务而产生的垄断,这种垄断就称为自
  • 朝鲜劳动党第四次代表会议朝鲜劳动党第四次代表会议于2012年4月11日在平壤举行。此次会议是金正恩成为朝鲜最高领导人后举行的首次党代表会议。这次会议在“4.25文化会馆”举行会议的四项议题分别为:
  • 双桅纵帆船双桅纵帆船又称斯库那或斯库纳帆船(schooner),是一种帆船,所有桅杆均挂纵帆。桅杆多于两根时可称为多桅纵帆船或多桅斯库纳。双桅纵帆船的前桅较主桅小,前桅可张挂一面或多面方形
  • 内木志内木志(日语:ないき こころ,1997年4月6日-)是日本女艺人,为女子偶像团体NMB48前成员,2013年以选秀生1期身份出道。滋贺县出身。 2013年2014年2016年2018年2019年2019年石田优美(副队