净室

✍ dations ◷ 2025-09-12 11:31:52 #半导体器件制造,房间,过滤器

净室,又称无尘室、洁净室或清净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是净室中的灰尘。

净室的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。作为生产设施,净室可以占据厂房很多位置。

净室系统,制造符合规格之洁净空气,连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端,净室内的制造区(FAB)。一般而言,制造洁净空气之气源为外气(OUTSIDE AIR),经过净室系统各种处理单元设备之处理后进而得到符合规格之洁净空气。以下简单介绍其处理流程:外气经由外气空调箱(Make-up Air Unit或MAU)初步过滤微尘(particle)并控制其温湿度后,经由回风管道间(Mech. Chase),将净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管(Dry Cooling Coil)将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,透过循环风扇(Fan Filter Unit或FFU)带动净室的气流循环带走微尘及热量,最后经过超高性能过滤网(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)过滤后,供应至Fab区。

列表描述了在各级别净室所需达到的每立方英尺(美国标准)或每立方米(ISO标准)最高可容许粒子数目:

备注:此标准已于2001年11月29日取消参考: https://web.archive.org/web/20060208191024/http://www.iest.org/publctns/fedstd209.htm

净室也是应用在软件工程中的一个术语。

相关

  • 发育自人体解剖学 - 人体生理学 组织学 - 胚胎学 人体寄生虫学 - 免疫学 病理学 - 病理生理学 细胞学 - 营养学 流行病学 - 药理学 - 毒理学胚胎学(英语:Embryology)是研究活着的有
  • 弗拉基米尔弗拉基米尔(Владимир,英语:Vladimir),俄罗斯城市,弗拉基米尔州首府,位于莫斯科市东北方向190公里克里雅吉马河北岸。面积:124.6平方公里。人口:340,700 (2006年)。弗拉基米尔建
  • 1294年1294年的地震摧毁了冰岛许多间歇泉,但盖锡尔与斯特罗柯间歇泉却因此而生。
  • 斯卡拉布雷遗迹坐标:58°59′46″N 3°11′20″W / 58.99611°N 3.18889°W / 58.99611; -3.18889斯卡拉布雷(英语:Skara Brae)是一个新石器时代的人类定居点,位于苏格兰奥克尼群岛中最大的一个
  • 研究生院研究生院(英国英语:Postgraduate Schools、美国英语:Graduate Schools、日语:大学院),是本科之后的进阶教育研究机构,一般设于大学中,以“某大学某研究生院”的形式存在,也有独立设立
  • 2019冠状病毒病福建省疫情2019冠状病毒病福建省疫情,介绍2019冠状病毒病疫情中,在中华人民共和国福建省发生的情况。2020年1月22日,国家卫生健康委确认福建省首例输入性新型冠状病毒感染的肺炎确诊病例
  • 蛋白质数据库蛋白质数据库(Protein Data Bank,简称PDB)是一个专门收录蛋白质及核酸的三维结构资料的数据库。由Worldwide Protein Data Bank监管。PDB可以经由网络免费访问,是结构生物学研究
  • 数字艺术数字艺术作品是通过数码设备创建或加工处理过的艺术作品,包括但不限于图像、影像、文字、音频或以其它形式存在的数字艺术作品。相对于传统艺术作品来说,它在表现形式更加丰富
  • 沃尔夫冈·克特勒沃尔夫冈·克特勒(德语:Wolfgang Ketterle,1957年10月21日-),德国物理学家,现任麻省理工学院物理学教授。他的研究专注在冷原子的捕捉,以使这些原子接近绝对零度。在1995年时,他所领
  • 2008年查茨沃思火车相撞事故2008年查茨沃思火车相撞事故发生于美国加州洛杉矶市查茨沃思,于当地时间2008年9月12日(星期五)16:22(太平洋时区)一辆联合太平洋铁路货车和南加州都会铁道(南加州城铁)的行走文图拉