刻蚀

✍ dations ◷ 2025-08-10 17:02:16 #半导体,微技术

刻蚀（英语：etching）是半导体器件制造中利用化学途径选择性地移除沉积层特定部分的工艺。刻蚀对于器件的电学性能十分重要。如果刻蚀过程中出现失误，将造成难以恢复的硅片报废，因此必须进行严格的工艺流程控制。半导体器件的每一层都会经历多个刻蚀步骤。刻蚀一般分为电子束刻蚀和光刻，光刻对材料的平整度要求很高，因此，需要很高的清洁度。但是，对于电子束刻蚀，由于电子的波长极短，因此分辨率与光刻相比要好的多。因为不需要掩模板，因此对平整度的要求不高，但是电子束刻蚀很慢，而且设备昂贵。

对于大多数刻蚀步骤，晶圆上层的部分位置都会通过“罩”予以保护，这种罩不能被刻蚀，这样就能对层上的特定部分进行选择性地移除。在有的情况中，罩的材料为光阻性的，这和光刻中利用的原理类似。而在其他情况中，刻蚀罩需要耐受某些化学物质，氮化硅就可以用来制造这样的“罩”。

相关

德干高原德干高原（Deccan Plateau）位于印度中部和南部，包括马哈拉施特拉邦、安得拉邦、卡纳塔克邦和泰米尔纳德邦的一部分，是有名的熔岩高原。海拔平均为500－600米，地质主要是白垩纪的玄武
蜚蠊目见内文Blattaria蜚蠊目（学名：Blattodea，亦作Blattaria），是昆虫纲有翅亚纲新翅下纲之下的一个分类，大约七千多个物种，包含了蟑螂和白蚁。当中蟑螂约有4500多个物种，约占整个蜚螊目的
营口港营口港，是全国重要的综合性主枢纽港，是中国东北地区最大的货物运输港。2006年，国家发改委和交通部联合印发的《全国沿海港口布局规划》中要求营口港布局大型、专业化的石油（特别
北太平洋环流北太平洋环流系统（英语：North Pacific Gyre ）整体而言有两个环流，一个是顺时针的大环流；另一个则是在比较北边呈逆时针的小环流。在北半球，因东北信风的推动，约在北纬15度附近具
协助苏联军队于他们国家内进驻爱沙尼亚拉脱维亚占领波罗的海国家指的是1940年6月14日，苏联根据苏德互不侵犯条约军事占领波罗的海三国（爱沙尼亚、拉脱维亚、立陶宛）这一事件，随后三国即被并吞并成为了苏联
足刺亚纲见内文Aciculata足刺亚纲（学名：Errantia，旧称Aciculata），亦作游走亚纲，是环节动物门多毛纲的一个亚纲。本分类的成员遍布世界各地的海洋及咸淡水交界。这一类动物的每一体节有一
气肩盗龙气肩盗龙属（属名：Pneumatoraptor）是兽脚亚目近鸟类恐龙的一属，生存于白垩纪晚期的匈牙利。正模标本（编号V.2008.38.1.）是一个完整的左肩胛鸟喙骨，发现于匈牙利西部的包科尼山脉，属于
萨仁高娃萨仁高娃（1962年7月14日－），蒙古族，内蒙古集宁市人，中国资深电视演员。萨仁高娃14岁进入内蒙乌兰察布盟歌舞团当舞蹈演员。1979年内蒙古电影制片厂成立，首部故事片《阿丽玛》，萨仁高
吴海燕吴海燕（1958年－），女，汉族，上海人，染织与服装设计专家，第十一届全国政协委员。1984年毕业于浙江美术学院工艺系，担任中国美术学院设计学院院长。2001年，成为第5届中国时装设计“金顶奖
冯展华冯展华（民国50年11月1日－），国立中正大学现任校长，知名学者、教育家、科学家，因其专业领域为机械齿轮，研究时间将近30年，人称“齿轮王”。