电感耦合等离子体

✍ dations ◷ 2025-04-10 18:23:42 #等离子体,离子源,电动力学,光谱学

电感耦合等离子体(英语:Inductively Coupled Plasma,缩写:ICP)是一种通过随时间变化的磁场电磁感应产生电流作为能量来源的等离子体源。

如图2,总共有三种不同的ICP供能装置。

ICP源的用途著有要四种:


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