至中世纪时，这个称号被可汗取代。而单于一词之后被转译为達干、达官、答刺罕、答儿罕、达儿罕、打儿汉等。
“单于”，据《史记·匈奴列传》，其称号全称为“撑犁孤涂单于”，之后被简化为单于。“撑犁”意为“天”，与突厥语系蒙古语“Tengri（天）”同源。“孤涂”意为“子”，“单于”意为“广大”，本义有天子、“如天一般广大的上天之子”的意思。根据Alexander Vovin用叶尼塞语系的解释，“单于”可释义为“北方之主”。
《广韵》中记载，单分别有“都寒切”（中古汉语拟音：/tɑn/，现代汉语：dān）、“市连切”（中古汉语拟音：/d͡ʑiɛn/，现代汉语：chán）、“常演切”（中古汉语拟音：/d͡ʑiɛnX/，现代汉语：shàn）和“时战切”（中古汉语拟音：/d͡ʑiɛnH/，现代汉语：shàn）。
至汉文帝时，匈奴单于又称大单于。
匈奴单于的继承制度，大体可分为二种情况，父死子继、兄终弟及和远亲袭位。单于的传位可分三段时期，公元前209年至前127年，冒顿、老上、军臣三单于持续了三代的父死子继；公元前127年至公元前31年，开始以父子相继和兄终弟及二种形式的交替出现，其中呴犁湖和握衍朐提二单于为远亲袭位；公元前20年至公元46年，由于呼韩邪单于“约令传国与弟”，规定了兄终弟及的方式，命其子死后传位给弟，搜谐若鞮、车牙若鞮、乌珠留若鞮、乌累若鞮、呼都而尸道皋若鞮五单于持续了五代的兄终弟及，一直延续到匈奴分裂前的第二年。
十六国时代的大单于一般是君主没有当天王或皇帝时担任的，他们当皇帝后，就将大单于的位置交给太子担任
