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甲硅烷
✍ dations ◷ 2025-06-27 17:05:18 #甲硅烷
甲硅烷(英语:Silane),也称甲矽烷、硅甲烷,化学式为SiH4,是一种硅烷;有时也被简称为硅烷(勿混淆)。它的结构与甲烷类似,只是用硅取代了甲烷中的碳。在室温下,硅烷是一种易燃的气体,在空气中,无需外加火源,硅烷就可以自燃。但是有学者认为,硅烷本身是很稳定的,在自然状态下,是以聚合物的状态存在的。在超过420摄氏度的环境下,硅烷会分解成硅和氢,因此硅烷可以被用来以薄膜沉积提纯硅,是半导体工业重要的特用电子级气体之一。工业上,多晶块状硅首先在摄氏200度置于流床反应器下化合:硅与通入的氯化氢形成三氯硅烷和氢气。反应式如下:将经过蒸馏纯化的三氯化硅置于有催化剂的resinous bed反应器而产生歧化反应,形成硅烷和四氯化硅。反应式如下:此反应的催化剂常以金属卤化物为主,尤其是氯化铝。硅烷在空气中爆炸性极高,尤其与氮气等气体混在一起爆炸性更高,只要1%的硅烷和纯氮就有可能引发爆炸。另外硅烷对眼睛具有刺激性。
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