甲硅烷

✍ dations ◷ 2025-12-09 03:14:34 #甲硅烷

甲硅烷（英语：Silane），也称甲矽烷、硅甲烷，化学式为SiH4，是一种硅烷；有时也被简称为硅烷（勿混淆）。它的结构与甲烷类似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室温下，硅烷是一种易燃的气体，在空气中，无需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有学者认为，硅烷本身是很稳定的，在自然状态下，是以聚合物的状态存在的。在超过420摄氏度的环境下，硅烷会分解成硅和氢，因此硅烷可以被用来以薄膜沉积提纯硅，是半导体工业重要的特用电子级气体之一。工业上，多晶块状硅首先在摄氏200度置于流床反应器下化合：硅与通入的氯化氢形成三氯硅烷和氢气。反应式如下：将经过蒸馏纯化的三氯化硅置于有催化剂的resinous bed反应器而产生歧化反应，形成硅烷和四氯化硅。反应式如下：此反应的催化剂常以金属卤化物为主，尤其是氯化铝。硅烷在空气中爆炸性极高，尤其与氮气等气体混在一起爆炸性更高，只要1%的硅烷和纯氮就有可能引发爆炸。另外硅烷对眼睛具有刺激性。

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