光刻胶

✍ dations ◷ 2025-10-28 21:38:00 #光刻胶

光刻胶（英语：photoresist），亦称为光阻或光阻剂，是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于积体电路和半导体分立器件的细微图形加工。光刻胶根据在显影过程中曝光区域的去除或保留可分为两种－正性光刻胶（positive photoresist）和负性光刻胶（negative photoresist）。光刻胶通常使用在紫外光波段或更小的波长(小于400纳米)进行曝光。根据使用的不同波长的曝光光源，如KrF（248nm），ArF（193nm）和EUV（13.5nm），相应的光刻胶组分也会有一定的变化。如248nm光刻胶常用聚对羟基苯乙烯及其衍生物为光刻胶主体材料，193nm光刻胶为聚酯环族丙烯酸酯及其共聚物，EUV光刻胶常用聚酯衍生物和分子玻璃单组分材料等为主体材料。除主体材料外，光刻胶一般还会添加光刻胶溶剂，光致产酸剂，交联剂或其他添加剂等。20世纪80年代初，基于化学放大概念的光刻过程大大加快了光刻技术的发展。化学放大是指在紫外光的作用下，通过光致产酸剂（Photoacid generator，PAG）的分解产生强酸，在热作用下扩散并将光刻胶主体材料中对酸敏感的部分分解为碱可溶的基团，并在显影液中根据溶解度的差异将部分主体材料溶解，从而获得正像或负像图案。光致产酸剂分为离子型和非离子型两类。离子型PAG常由二芳基碘

相关

伤寒伤寒疫苗（Typhoid vaccines）是用于预防伤寒的疫苗。有两种疫苗类型可广泛使用：活性口服伤寒疫苗（英语：Ty21a）（口腔中的减毒性病毒）和纯化Vi多糖疫苗（英语：Vi capsular polysaccharide
用户界面用户界面（User Interface，简称UI，亦称使用者界面）是系统和用户之间进行交互和信息交换的介质，它实现信息的内部形式与人类可以接受形式之间的转换。用户界面是介于用户与硬件而设
虐待性头部创伤虐待性头部创伤（英语：Abusive head trauma，简写AHT），旧称摇晃婴儿综合症（英语：Shaken baby syndrome，简写SBS），是指因婴儿受到暴力地摇晃而对其脑部产生的损害，为一种儿童虐待。在美国，
励讯集团RELX集团（RELX Group），原称里德·爱思唯尔集团或里德·埃尔塞维尔（Reed Elsevier），成立于1993年，由英国的里德国际公司（Reed International PLC）和荷兰的爱思唯尔公司（Elsevier NV）合并
早泄早发性射精（英文：Premature ejaculation）俗称早泄，是指进行性行为时男性射精过早，医学上指是阴茎于插入阴道（阴道内射精延迟时间）或肛门一分半钟内射精。现在更多医生愿意从女性角
全字母句包含有字母表中所有字母并且言之成义的句子称为全字母句（英语：pangram或holoalphabetic sentence，希腊语：pan gramma（意为“每一个字母”））。全字母句被用于显示字体和测试打字机。
数学哲学数学哲学是哲学的一个分支，研究数学中的哲学问题的学科。从毕达哥拉斯到康德的众多思想家都有许多数学哲学的重要思想，但作为专门学科直到十九世纪中叶以后才逐渐建立起来。着
偏好偏好是实际潜藏在人们内心的一种情感和倾向，它是非直观的，引起偏好的感性因素多于理性因素。偏好有明显的个体差异，也呈现出群体特征。在微观经济学价值理论中，偏好是价值上相对
岐阜大学岐阜大学（ぎふだいがく、Gifu University），是一所位于岐阜县岐阜市的日本国立大学。Nigel Ward 日本大学排名：第25名（研究经费·论文引用率·入学难易度·声望）
玛莉·马龙玛丽·马伦（英语：Mary Mallon，1869年9月23日－1938年11月11日），爱尔兰人，1883年独自移民至美国，是美国第一位被发现的伤寒健康带原者，因此被称为伤寒玛丽（Typhoid Mary）。玛丽是一个厨师