光刻胶

✍ dations ◷ 2025-08-28 16:29:51 #光刻胶

光刻胶（英语：photoresist），亦称为光阻或光阻剂，是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于积体电路和半导体分立器件的细微图形加工。光刻胶根据在显影过程中曝光区域的去除或保留可分为两种－正性光刻胶（positive photoresist）和负性光刻胶（negative photoresist）。光刻胶通常使用在紫外光波段或更小的波长(小于400纳米)进行曝光。根据使用的不同波长的曝光光源，如KrF（248nm），ArF（193nm）和EUV（13.5nm），相应的光刻胶组分也会有一定的变化。如248nm光刻胶常用聚对羟基苯乙烯及其衍生物为光刻胶主体材料，193nm光刻胶为聚酯环族丙烯酸酯及其共聚物，EUV光刻胶常用聚酯衍生物和分子玻璃单组分材料等为主体材料。除主体材料外，光刻胶一般还会添加光刻胶溶剂，光致产酸剂，交联剂或其他添加剂等。20世纪80年代初，基于化学放大概念的光刻过程大大加快了光刻技术的发展。化学放大是指在紫外光的作用下，通过光致产酸剂（Photoacid generator，PAG）的分解产生强酸，在热作用下扩散并将光刻胶主体材料中对酸敏感的部分分解为碱可溶的基团，并在显影液中根据溶解度的差异将部分主体材料溶解，从而获得正像或负像图案。光致产酸剂分为离子型和非离子型两类。离子型PAG常由二芳基碘

相关

降糖药抗糖尿病药用于降低血中的葡萄糖浓度来治疗糖尿病。除了胰岛素、艾塞那肽（英语：Exenatide）、利拉鲁肽和普兰林肽（英语：Pramlintide）外，其他的都是经由经由口服，所以又称为口服降血糖
耐氧厌氧生物厌氧生物，或称厌气生物，是指一种不需要氧气生长的生物。它们大致上可以分为三种，即专性厌氧生物、兼性厌氧生物及耐氧厌氧生物。人体内的厌氧生物多存在于消化系统中，有些种类
国际海底管理局国际海底管理局（英语：International Seabed Authority，缩写ISA)是管理国际海底区域及其资源的权威组织。根据联合国第三次海洋法会议的决议，1983年3月成立了联合国国际海底管理
国家安全生产监督管理总局1999年规定：印章直径5厘米，中央刊国徽，由国务院制发。国家安全生产监督管理总局徽标国家安全生产监督管理总局（官方英文译名：State Administration of Work Safety，简称国家安监总
远东远东（英语：Far East），是西方国家所发明对亚洲使用的地理概念。以西欧为中心，东欧、东南欧、北非、安纳托利亚称为“近东”，东非、黎凡特、阿拉伯半岛、中亚一带称为“中东”，西伯利
体液学说体液学说（英语：Humorism，Humoralism或Humorae theory），起源于古希腊的医学理论，认为人体是由四种体液构成－血液、黏液、黄胆汁和黑胆汁，这四种体液对应到四种元素、四种气质，四种体液
维生工资维生工资是指一个劳工为了支付生活开销（包含食、衣、住、行）的所需的最低收入，往往比最低工资高。在英国及瑞士，维生工资的标准是每周工作40个小时所能获得的工资，不含额外的收入
二分法二分法（dichotomy）指的是将一个整体事物分割成两部分。也即是说，这两部分必须是互补事件，即所有事物必须属于双方中的一方，且互斥，即没有事物可以同时属于双方。
细胞内细胞内受体（Intracellular receptor）是指位于细胞膜内部的细胞质或细胞核中的受体，这类受体都为转录因子。因为其激素要穿越细胞膜才能进入细胞内与其结合，所以通常都为脂溶性激
显性在基因学中，显性（英语：dominance）是一个基因中一对等位基因之间的关系，其中一个等位基因的表型会表现出来，掩盖了同一基因座中另一个等位基因的表现。前面的等位基因称为显性基因，