电子束光刻

✍ dations ◷ 2025-04-06 02:45:50 #电子束光刻

电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳米量级，从而为制作纳米线提供了很有用的工具。电子束曝光需要的时间长是它的一个主要缺点。为了解决这个问题，纳米压印术应运而生。电子束曝光在半导体工业中被广泛使用于研究下一代超大规模集成电路。

相关

罗培南美罗培南（英语：Meropenem），或译美洛培南，是一种有非常广泛抗菌性及可供注射的抗生素，用于治疗多种不同的感染，包括脑膜炎及肺炎。它是一种β内酰胺类抗生素，属于碳青霉烯的分类下。
栉水母动物门栉水母（Ctenophores），又名海胡桃，是一类两胚层动物，属辐射对称动物，现被划分为栉水母动物门（学名：Ctenophora），又名有栉动物门、栉板动物门。原和刺丝胞动物一起分在腔肠动物门，作为无
巨噬细胞极化巨噬细胞极化是一个巨噬细胞对应微环境讯号所表现不同程式功能的过程。巨噬细胞极化有多种功能型态，他们可以完全极化成特定的表型，像是M1（典型活化巨噬细胞）或是M2（另类活化巨噬
图像式思考辅助工具图像式思考辅助工具是一种将知识、概念或构思表利用视觉方式表达出来的方法，主要用于脑力激荡法（brainstorming）过程中，将各人的思想记录下来，以便将来向其他人重新覆述各人的思
格涅兹诺坐标：52°33′N 17°36′E / 52.550°N 17.600°E / 52.550; 17.600格涅兹诺（波兰语：Gniezno）是波兰中西部城镇，在波兹南以东约50公里处。该城从1999年起属大波兰省（以前属波兹南
幼淋巴细胞幼淋巴细胞系一类在淋巴细胞产生（英语：lymphocytopoiesis）过程中产生的细胞。它们产生自淋巴母细胞，是各种淋巴细胞的直接前体。其大小通常介于10-18微米之间。
2,3-环氧鲨烯(S)-2,3-环氧鲨烯（英语：(S)-2,3-epoxysqualene）也叫做(S)-2,3-氧化鲨烯（英语：(S)-2,3-Oxidosqualene）是甾体前体羊毛甾醇、环阿屯醇以及皂苷合成的中间产物，由角鲨烯通过鲨烯环氧化
举报人举报人是指揭发他人或组织的行为不检、不实或者非法的人士。这些被揭发的行为可以分为很多种类，如：违反法律、规章、条例或者威胁公众利益，又或如造假、危害公众安全卫生和贪污
迪安-斯塔克装置Dean-Stark装置（又称作Dean-Stark接收器或Dean-Stark蒸馏器）是化学合成中常用的一种玻璃仪器，它通常与回流冷凝器和收集装置连用以保证在回流温度下所进行的反应生成的水（偶尔也
Gmelin盖墨林数据库是一个收录无机化学和金属有机化学化合物和反应的化学数据库。它的前身是德国化学家利奥波德·盖墨林（Leopold Gmelin）于1817年编撰的《盖墨林无机化学手册》（Gmel