电子束光刻

✍ dations ◷ 2024-11-05 19:26:36 #电子束光刻

电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳米量级，从而为制作纳米线提供了很有用的工具。电子束曝光需要的时间长是它的一个主要缺点。为了解决这个问题，纳米压印术应运而生。电子束曝光在半导体工业中被广泛使用于研究下一代超大规模集成电路。

相关

过敏性鼻炎过敏性鼻炎，又称为鼻敏感、干草热、花粉热、花粉症或季节性过敏性鼻炎，是因为免疫系统受到空气中的过敏原影响而导致的鼻炎症状。征兆和病症包括流鼻涕或鼻塞、打喷嚏、眼睛的
亚胺培南亚胺培南（Imipenem）是一种碳青霉烯类抗生素，属于β-内酰胺类。该药于20世纪70年代中期由默沙东开发。同其他碳青霉烯类抗生素类似，亚胺培南对许多多重耐药革兰氏阴性菌产生
农药农药，根据美国环保署的定义，是指任何能够预防、摧毁、驱逐或减轻害虫的物质或混合物。害虫通常指与人类竞争食物，破坏财产，散播疾病或造成困扰的生命体，包括昆虫、植物病原体、杂
甘油丙三醇又称甘油，结构简式为HOCH2CHOHCH2OH或C3H5(OH)3，分子式为C3H8O3。丙三醇是无色无臭有甜味的黏性液体，沸点为290℃，吸水性很强。具有醇类的通性，例如可以与金属钠发生反应产
药物基因组学药物基因组学（英语：Pharmacogenomics），又称基因组药物学或基因组药理学，是研究基因组在药物反应中的作用。药物基因组学分析个体的遗传构成如何影响他/她对药物的反应。通过将基
坐月子坐月子，是一些东亚民族的妇女在生产过后休息调养身心的习俗，时间约一个月，故称坐月子。粤语称坐月，闽南语称做月內，客家话称做月，中原官话称坐月子或称作月子，日语称产后之肥立（産後
量在社会科学中，定量研究（英语：Quantitative research），或又称为量化研究，指的是采用统计、数学或计算技术等方法来对社会现象进行系统性的经验考察。这种研究的目标是发展及运用与
家长家长是一种称呼，可以指：
时代年度风云人物时代杂志年度风云人物（英语：Time Person of the Year）是美国《时代》于每年年底评选出的当年度对世界最具有影响力的事物。获选对象可以是个人、夫妇、一群人、概念、地方甚至
CoO氧化亚钴（CoO）是一种黑色的氧化物。氧化亚钴可借由将四氧化三钴加热至950℃时制得： 2 Co3O4 → 6 CoO + O2