电子束光刻

✍ dations ◷ 2025-02-23 19:41:03 #电子束光刻

电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳米量级，从而为制作纳米线提供了很有用的工具。电子束曝光需要的时间长是它的一个主要缺点。为了解决这个问题，纳米压印术应运而生。电子束曝光在半导体工业中被广泛使用于研究下一代超大规模集成电路。

相关

哮喘喘息、哮喘（英语：asthma，又称气喘）是常见的气道慢性炎症疾病，主要特征是多变和复发的症状、可逆性气流阻塞，和支气管痉挛（英语：bronchospasm）。常见症状表现为喘息、咳嗽、胸腔紧
dsDNA脱氧核糖核酸病毒（英语：DNA virus），又称DNA病毒，其遗传物质为DNA。一般为正链DNA病毒。医学导航: 病毒病病毒(蛋白质)/分类cutn/syst (hppv/艾滋病, 流感/疱疹/人畜共患)/人名体
条约为了约束使用、发展、持有各种大规模杀伤性武器，世界各国已制订了各种大规模杀伤性武器条约及协定。条约规范了：
细菌性阴道炎细菌性阴道炎（Bacterial vaginosis，简称BV），又称细菌性阴道病、非特异性阴道炎（Nonspecific vaginitis）是种发生在阴道内的疾病，其原因是细菌大量滋生而造成的。常见的症状包括有阴
密克罗尼西亚联邦面积以下资讯是以2013年估计国家领袖国内生产总值（购买力平价）以下资讯是以2016年估计国内生产总值（国际汇率）以下资讯是以2016年估计人类发展指数以下资讯是以2018年估计密
非金属元素非金属元素是元素的一大类，在所有的118种化学元素中，非金属占了23种。在周期表中，除氢以外，其它非金属元素都排在表的右侧和上侧。包括氢、硼、碳、氮、氧、氟、硅、磷、硫、氯
红外天文学红外天文学的主要研究对象是可以观测到红外辐射的天体，是天文学和天文物理学的一个重要分支。可见光的波长范围大约为400纳米（蓝色）至700纳米（红色），波长比700纳米长但仍比微波短
离子泵离子泵是真空泵的一种。离子泵的原理是将气体分子电离后，利用强电场将离子加速至电极板处并捕获，以此移除容器内的气体。理想条件下，离子泵可以产生压强低至10-11毫巴的真空。
苔藓植物门藓类植物门（学名：Bryophyta）是植物界的一门，是一类一般在1到10公分高左右的微小且柔软的有胚植物，但也有些物种会比较高大。只要有潮湿的环境与阳光照射就能轻易生长，没有花朵或种
尿酸氧化酶尿酸氧化酶（英语：Urate oxidase，简称UO，曾称为尿酸酶，EC 1.7.3.3）是一种催化尿酸氧化为5-羟基异尿酸的酶：EC 1.1/2/3/4/5/6/7/8/9/10/11/12/13/14/15/16/17/18/19/20/21/22 · 2