电子束光刻

✍ dations ◷ 2025-06-07 00:52:10 #电子束光刻

电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳米量级，从而为制作纳米线提供了很有用的工具。电子束曝光需要的时间长是它的一个主要缺点。为了解决这个问题，纳米压印术应运而生。电子束曝光在半导体工业中被广泛使用于研究下一代超大规模集成电路。

相关

肾上腺素能受体激动剂肾上腺素能受体（英语：Adrenergic receptors，或称为肾上腺素受体）是一类接受儿茶酚胺类物质刺激的代谢型G蛋白偶联受体，所接受的儿茶酚胺类主要是去甲肾上腺素以及肾上腺素。尽管
合金合金，就是两种或两种以上化学物质（至少有一组分为金属）混合而成具有金属特性的物质，一般由各组分熔合成均匀的液体，再经冷凝而得。合金至少是以下三种中的一种：元素形成的单一相固
卡纳达语卡纳达语（卡纳达语：ಕನ್ನಡ代码：kan升级为代码：kn ，.mw-parser-output .IPA{font-family:"Charis SIL","Doulos SIL","Linux Libertine","Segoe UI","Lucida Sans Unicode","C
红军红军可以指：又称“赤军”（“赤军”一词原本是日本对于苏联红军的汉字译名）“赤军”一词可专指冷战时期以此为名的几个极左派武装恐怖组织，包括德国红军派、意大利红色旅、以及日
交通心理学异常心理学行为遗传学生物心理学心理药物学认知心理学比较心理学跨文化心理学文化心理学差异心理学（英语：Differential psychology）发展心理学演化心理学实验心理学
磷酸二酯酶抑制药磷酸二酯酶抑制剂（英语：Phosphodiesterase inhibitor）拥有抑制磷酸二酯酶活性的功效，降低第二信使（cAMP或cGMP）的水解，因而提升细胞内cAMP或cGMP的浓度。有些磷酸二酯酶抑制剂可选
感觉神经感觉神经元是指传递感觉信息(视觉、听觉、触觉)的神经细胞。在感觉输入时他们被激活，将向神经系统中其它的感觉神经元投射信号，最终将感觉信息运输到大脑或脊髓。在复杂器官中
豆科植物豆科（学名：Fabaceae，保留名：Leguminosae）植物属于真双子叶植物豆目，约有800属19,325种。为被子植物中相当庞大的一科，占了已知开花植物物种的7%。部分物种在经济上具有重要地位，该科
季梁季梁，生卒年不详。姬姓季氏，春秋早期随国的政治家和思想家，对随国自立为汉水以东诸国较强大者贡献良多，从而能够不被强大的楚国压服。内政上他提出：“忠于民而信于神也……夫民，神
皇家艺术研究院皇家艺术研究院（英语：Royal Academy of Arts，R.A.）是位于英国伦敦皮卡迪利街伯林顿府的一座研究所，为私人资助所机构，相对独立，通过组织举办艺术展等各类艺术活动来促进艺术发展，建