电子束光刻

✍ dations ◷ 2025-04-26 13:17:29 #电子束光刻

电子束曝光（electron beam lithography）指使用电子束在表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸应用。光刻技术的精度受到光子在波长尺度上的散射影响。使用的光波长越短，光刻能够达到的精度越高。根据德布罗意的物质波理论，电子是一种波长极短的波。这样，电子束曝光的精度可以达到纳米量级，从而为制作纳米线提供了很有用的工具。电子束曝光需要的时间长是它的一个主要缺点。为了解决这个问题，纳米压印术应运而生。电子束曝光在半导体工业中被广泛使用于研究下一代超大规模集成电路。

相关

流鼻涕鼻漏（英语：rhinorrhea或rhinorrhoea）是指鼻腔充斥大量黏液的一种症状。该症状也被称为流鼻涕、流鼻水等，在人身上较为常见。鼻漏是过敏（过敏性鼻炎）和其他一些疾病（如普通感冒）的常
马来西亚空气污染马来西亚空气污染主要是马来西亚历年受到印尼农民烧芭（火耕）所导致的烟雾污染事件。马来西亚最早的烟雾灾难可追溯至1961年。1961年10月19日，一架从英国伦敦飞抵吉隆坡的航班，准
辅助因子辅因子（英语：cofactor）指与酶（酵素）结合且在催化反应中必要的非蛋白质化合物。某些分子如水和部分常见的离子所扮演的角色和辅因子相当类似，但由于含量不受限制且普遍存在，因此不归
单车失窃记《偷自行车的人》（意大利语：Ladri di biciclette）是一部意大利电影，由狄西嘉（Vittorio De Sica）所执导，也被许多人认为是电影史上最伟大的作品之一。意大利新写实主义电影的经典代
寄生植物寄生植物指的是其营养乃全部或部分于来自其他生物（其他植物）者。目前已发现营寄生的开花植物大约有19科，4,100种。寄生植物具特化的根，吸器（haustorium），会穿过宿主的组织达到木质
导热率热导率(英语：Thermal conductivity）其符号为 k {\displaystyle k} 、 λ {\displaystyl
高的国家美国政府认为，美国高度发达的传媒有赖于其自由的新闻环境，其中美国宪法第一修正案为新闻自由奠定了基础。殖民地时期北美的第一张报纸被称为“权威报纸”，意指该报纸由英国的殖
动质体锥体虫Trypanosomatida Bodonida动质体（Kinetoplastid）是一种附有鞭毛的原生动物，包含某些能使人类或其他动物发生严重疾病的寄生虫。这类生物具有许多不同型态，生活于水中或泥
印度大学列表‡ – 转变为印度理工学院的年代
Stockholm International Peace Research Institute斯德哥尔摩国际和平研究所（Stockholm International Peace Research Institute，SIPRI）是一个致力于研究冲突，军备，军备控制以及裁军的国际独立机构。该研究所于1966年创立。根据