极紫外光刻

✍ dations ◷ 2025-06-07 11:15:14 #半导体器件制造

极紫外光微影、超紫外线平版印刷术（英语：Extreme ultraviolet lithography，亦称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长的下一代微影（英语：next-generation lithography）技术，目前预期使用13.5纳米，预计将于2020年得到广泛应用。

透过高能量、波长短的光源，将电路图案转印到晶圆。EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍，因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。然而EUV光罩与传统的光罩截然不同，当采用13.5nm波长的极紫外光微影技术时，所有的光罩材料都是不透光的，因此具复合多涂层反射镜的光罩可将电路图案反射到晶圆上。这种多层膜EUV光罩一方面可维持光罩的反射率，但另一方面会在临界线宽、轮廓、刻线边缘粗糙度、选择性和缺陷控制方面造成独特的蚀刻晚了10多年。

相关

蟠尾丝虫症蟠尾丝虫症或蟠尾丝虫病（拉丁语：Onchocerciasis），又名河川盲、河盲症（river blindness），是一种因感染蟠尾丝虫引起的疾病。病状包括严重搔痒、皮下肿块，以及失明。是全球仅次于沙眼
文字列表文字，世界的书写文字系统列表。
迪斯雷利第一代比肯斯菲尔德伯爵本杰明·迪斯雷利，KG，PC，FRS（英语：Benjamin Disraeli, 1st Earl of Beaconsfield，1804年12月21日－1881年4月19日），英国保守党政治家、作家和贵族，曾两次担任首
Org. Synth.《有机合成》（Organic Syntheses，常缩写为 Org. Synth.）是一个化学领域的学术期刊。有机合成为年刊，于1921年创刊，提供各种有关有机合成的资料。1998年，其编者决定将以前和以后要
兰德纸草书莱因德数学纸草书（又译作林德数学手卷；Rhind Mathematical Papyrus），也称阿姆士（Ahmose）纸草书，或者大英博物馆10057和10058号纸草书，是古埃及第二中间期时代（约前1650年）由僧侣阿姆士
提格雷语提格雷语（吉兹语：ትግረ tigre 或 ትግሬ tigrē，Xasa）属于亚非语系闪语族中的一个成员，从吉兹语演变出来，与阿姆哈拉语关系密切，并一样使用吉兹字母来拼写。提格雷语使用在伊索比
北竿乡北竿乡（福州语平话字：.mw-parser-output .IPA{font-family:"Charis SIL","Doulos SIL","Linux Libertine","Segoe UI","Lucida Sans Unicode","Code2000","Gentium","Gentium
痒病羊搔痒症（英语：Scrapie），是一种退化性疾病，发生在绵羊及山羊上，造成它们的神经系统异常。它跟牛海绵状脑病与鹿的慢性消耗病相同，都是传染性海绵状脑病的一种，由异常的朊蛋白（英语：PRN
南昌高新区南昌高新技术产业开发区（简称：高新区；全称：南昌国家高新技术产业开发区）是中国江西省南昌市下辖的一个经济开发区，创建于1991年3月，是江西省首个国家级高新技术产业开发区。南昌高
邱奇－图灵论题邱奇-图灵论题（英语：Church–Turing thesis，又称邱奇-图灵猜想，邱奇论题，邱奇猜想，图灵论题）是一个关于可计算性理论的假设。该假设论述了关于函数特性的，可有效计算的函数值（用更现