极紫外光刻

✍ dations ◷ 2025-09-09 22:14:02 #半导体器件制造

极紫外光微影、超紫外线平版印刷术(英语:Extreme ultraviolet lithography,亦称EUV或EUVL)是一种使用极紫外(EUV)波长的下一代微影(英语:next-generation lithography)技术,目前预期使用13.5纳米,预计将于2020年得到广泛应用 。

透过高能量、波长短的光源,将电路图案转印到晶圆。EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍,因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。然而EUV光罩与传统的光罩截然不同,当采用13.5nm波长的极紫外光微影技术时,所有的光罩材料都是不透光的,因此具复合多涂层反射镜的光罩可将电路图案反射到晶圆上。这种多层膜EUV光罩一方面可维持光罩的反射率,但另一方面会在临界线宽、轮廓、刻线边缘粗糙度、选择性和缺陷控制方面造成独特的蚀刻晚了10多年。

相关

  • 宇宙背景辐射宇宙微波背景(英语:Cosmic Microwave Background,简称CMB,又称3K背景辐射)是宇宙学中“大爆炸”遗留下来的热辐射。在早期的文献中,“宇宙微波背景”称为“宇宙微波背景辐射”(CMBR
  • 木聚糖木聚糖是植物细胞中主要的半纤维素成分,占植物细胞干重的35%,是一种丰富的生物质资源,是自然界中除纤维素之外含量最丰富的多糖。然而自然界中很大一部分木聚糖未被有效利用,造
  • 打酱油打酱油是源自中国大陆的汉语网络用语,原意是去商店购买酱油,后来衍生出两种用法:一个传统意思,“某某人的孩子都可以打酱油了”是指孩子很大了,可以帮着做家务,其父母不再年轻。另
  • 脱氧腺苷去氧腺苷(Deoxyadenosine)是一种去氧核糖核苷酸,可视为腺苷(属于核苷的一种)2号碳上的一个羟基(-OH)被替换成氢原子(-H)。
  • 槲皮素檞皮素(Quercetin),也称作五羟黄酮,又称槲皮素。是一种存在于水果、蔬菜和谷物等植物中的植源性黄酮类化合物。檞皮素广泛存在于自然界中。其英文名“quercetin”最早出现于1857
  • 人道在佛教术语中,人类(梵语:manuṣya,巴利语:manussa)称为人道、人趣(趋),是轮回六道或五道之一。因居住在十界之第五,又称为人界,为六道中最适合修行之一道。人界是对于其他界而言:佛教将
  • 伊里奥特弗八世伊里奥特弗八世,又译因提夫八世。是埃及第十七王朝的一位国王,他在位期间正值第二中间期,当时埃及有第十七王朝和埃及第十五王朝共存。
  • 空间记忆在认知心理学和神经科学中,空间记忆(Spatial memory)是指记忆中负责记录环境讯息和空间方位的部分。例如:人熟悉一个城市的地理规划就需要空间记忆,老鼠能在迷宫里找到食物也需要
  • 世界主义世界主义(英语:Cosmopolitanism)是一种意识形态,可从正义概念的普世性出发,每一个世界公民都不受歧视地自我决定其发展。世界主义则是此世界因互相依存的网络交流的全球状态。世
  • 加沙战争加沙战争或加萨屠杀可以指下列事件: