三甲基硅烷

✍ dations ◷ 2025-06-08 19:10:42 #硅烷,有机硅化合物,三甲基硅基化合物

三甲基硅烷或三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物,化学式为C3H10Si,结构简式(CH3)3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。


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