低氧化物是一类特殊的氧化物，和相对“正常”氧化物相比，其中低电负性的元素原子个数偏多。若低电负性的元素是金属，这氧化物有时被称作“富金属氧化物”。铯的正常氧化物是Cs2O，是由Cs+与O2−形成的氧化物。铯的一种低氧化物是Cs11O3，其中铯的氧化态显然小于+1，但氧离子依旧被认为是O2−。低氧化物的典型特征是金属—金属键，经常形成原子簇。
低氧化物的离子包括：
金属低氧化物是金属氧化形成正常氧化物过程的中间产物。有时当金属暴露在少量的氧气中也会形成低氧化物：
一些铯和铷的低氧化物的特点已经用X射线晶体学进行研究。截止1997年，共发现以下几种：Rb9O2、Rb6O、Cs11O3、Cs4O、Cs7O、Cs11O3Rb、Cs11O3Rb2和Cs11O3Rb3。
低氧化碳的结构比较简单。其结构类似含有累积双键的有机物（如乙烯酮），此外C3O2符合八隅体规则。
氮和会和其他元素形成低氮化物（subnitride），比如Na16Ba6N，它的特点是氮原子为中心的八面体原子簇，六个钡原子嵌入钠形成的多面体中。
