四氯化硅是化学式为SiCl4的无机化合物,1823年由永斯·贝采利乌斯首次发现。
四氯化硅室温下为无色粘稠液体,可通过硅与氯气反应制备:
与四氯化碳不同,四氯化硅与水迅速反应生成二氧化硅和氯化氢。该水解速率差异归咎于硅原子更大的原子半径、硅原子存在的3d轨道以及Si-Cl键较低的键能。
与甲醇或乙醇反应则得到硅酸四甲酯(英语:Tetramethyl orthosilicate)和硅酸四乙酯:
高温下与硅发生归中反应:
四氯化硅沸点较低,可用于多次分馏生产高纯硅;也可用于生产高纯的合成石英玻璃(熔融石英)。它可被氢气还原为硅,也可水解为二氧化硅。大量的高纯硅应用在半导体工业和光电池中。