电子微探针

✍ dations ◷ 2025-04-03 13:42:49 #X射线,显微镜,分析化学,科学技术

电子微探针(英语:Electron microprobe,缩写 EMP),也被称为电子探针显微分析(electron probe microanalyzer,EPMA)或电子微探针分析仪(electron micro probe analyzer,EMPA),是一种用于非破性检定少量固体材料化学成分的分析工具。它是用聚焦很细、直径小于1um的电子束轰击待分析试样上的微小区域,对激发出的特征X射线、二次电子、二次离子、背散射电子、俄歇电子、透射电子、吸收电子、阴极荧光等进行探测和信息处理的现代仪器分析方法,是电子光学技术与X射线光谱分析技术交汇的产物。

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