埃弗哈特-索恩利探测器

✍ dations ◷ 2025-11-18 04:16:13 #显微镜,传感器,电子显微术

埃弗哈特-索恩利探测器(Everhart-Thornley Detector)或E-T探测器是一类可以探测二次电子和背散射电子的传感器,被用于扫描电子显微镜(SEM)中。埃弗哈特-索恩利探测器得名于其设计者托马斯·E·埃弗哈特和理查德·F·M·索恩利。他们在1960年发表的设计中把光管(light pipe)加入到真空腔外的光电倍增管,以处理来自于SEM真空腔中闪烁体探测器的信号,由此提升了二次电子探测器的效率。此前,埃弗哈特已经对弗拉基米尔·佐利金和J·A·拉哈彻曼(J. A. Rajchman)设计的二次电子探测器做出改进,将其中的电子倍增管改为光电倍增管。包含光波导(lightguide)和高探测效率的光电倍增管的E-T探测器已经成为了SEM中最常用的探测器。

E-T探测器位于样品腔中,主要部分是一个包含在法拉第笼之中的闪烁体探测器。对法拉第笼通入较低的正电压可以将能量较低(<50 eV)的电子吸引进入探测器,其中主要是二次电子;其他能量较高的电子则不会被这一电势所吸引。而闪烁体探测器则被设置为极高的正电压以加速这些被吸入的电子,并将其转变为光子。光子进一步被闪烁体探测器中的金属层构成的镜面聚焦到光波导中。这些光子最后通过光管被传输出真空腔,然后进入光电倍增管进行放大。

若去掉法拉第笼上的正电压,或对法拉第笼施加一个负电压,E-T二次电子探测器还可以用于探测背散射电子。但相比于运用E-T探测器获得的背散射电子图像,更高质量的背散射电子图像需要使用专门的背散射电子探测器来进行成像。

相关

  • PPM百万分率(英语:parts per million,缩写作ppm),定义为百万分之一,1ppm即是一百万分之一。可以用在衡量生产品质及医学、化学的计量上,例如对客户的出货ppm保证在30ppm以下,公司内制程
  • 海洋酸化海洋酸化(英语:Ocean acidification)指的是地球海洋摄入大气中的二氧化碳后,pH值逐渐降低的趋势 人类向大气排放的二氧化碳中有约30%到40%会溶解于海洋、河流和湖泊等水体中 溶
  • 变性 (消歧义)变性可以指:
  • 挪威电信挪威电信(Telenor ASA 挪威语发音:.mw-parser-output .IPA{font-family:"Charis SIL","Doulos SIL","Linux Libertine","Segoe UI","Lucida Sans Unicode","Code2000","Gentiu
  • 立体三维空间(也称为三度空间、三次元、3D),日常生活中可指由长、宽、高三个维度所构成的空间,而且常常是指三维的欧几里得空间。在历史上很长的一段时期中,三维空间被认为是我们生存
  • 阿勒颇之战红:政府军控制 绿:反对派控制 黄:库尔德族控制 土:对战中或不明叙利亚反对派: 叙利亚全国联盟 自由叙利亚军伊斯兰主义组织: 伊斯兰阵线(英语:Islamic Front (Syria))叙利亚政府:
  • 北平临时大学北平临时大学是1945年8月日本二战投降之后,中华民国教育部在北平设立的大学,用以甄审沦陷区的大学生。抗日战争时,汪精卫政权所属的公立大学,被蒋介石领导的国民党人士称为汪伪
  • 姚明年姚明年(英文:The Year of the Yao)为2004年纪录片,叙述中国篮球员姚明来到美国挑战NBA的第一年,受到国际性的关注后,姚明不只要适应聚光灯下的生活,也背负了球队、新闻媒体、球迷及
  • 阿斯彭阿斯彭(英文:Aspen),是美国科罗拉多州皮特金县下属的一座城市。建市于1881年4月1日,面积大约为3.874平方英里(10.033平方公里)。根据2010年美国人口普查,该市有人口6,658人。2011年
  • 尤金 (俄勒冈州)尤金(英语:Eugene)是美国俄勒冈州西部雷恩县的城市,城市自然景色秀丽,尤金也是雷恩县的县治。面积40.6平方哩(105km²),其中陆地面积40.02平方哩(104.9 km²),水域面积0.04平方哩(0.1 km