背向散射电子衍射技术

✍ dations ◷ 2025-06-07 06:44:42 #科学技术,衍射,光谱学

背向散射电子衍射技术 (Electron Back Scatter Diffraction, EBSD)是一种利用衍射电子束来鉴别样品结晶学方位的技术。挂载在扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscopy, SEM)中,倾斜角度约70度,加速后的电子束射入样品中,产生反弹的背向散射电子,经过表面晶体结构衍射,携带着样品表面的晶粒方位的资讯,进入探测器中,借此判断其每一颗晶粒的方向性。在知道每一颗晶粒的方位后,因此可用在判断晶界(Grain boundary)、相鉴别(Phase identification)、晶粒方向(Orientation)、织构(Texture)及应变(Strain)的分析方法。

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