旋转涂覆是一种高速成膜方法,可以得到均匀的薄膜,均匀性广泛应用于半导体材料及化工材料等薄膜制备。它利用旋转产生的离心力,将溶胶、溶液或悬浊液等均匀平铺到衬底表面。
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旋转涂覆
✍ dations ◷ 2025-05-11 13:12:27 #薄膜,制造
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