三氟化氮

✍ dations ◷ 2025-10-22 14:54:49 #无机胺,氟化物,氮卤化物,温室气体

三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的,可在钙的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。

三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演“清洁剂”的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是“化学气相沉积”(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成分有可能是硅、二氧化硅或其他金属材料,但这些材料不仅会附着在芯片上,也附着在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化硅累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的硅化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

目前全球供应NF3气体的厂商主要有四家,最大供应商为美国的Air Product(APCI),在台代理商是三福化工,其余三家皆为日本公司,分别为三井、关东电化(KDK),以及Central Gas。

相关

  • 逻辑或(logical or)又称逻辑析取(logical disjunction)、逻辑选言,是逻辑和数学概念中的一个二元逻辑算符。其运算方法是:如果其两个变量中有一个真值为“真”,其结果为“真”,两个
  • 马提尼克岛马提尼克(Martinique)位于中美洲加勒比海,是法国的一个海外大区,首府法兰西堡。下辖一个省,即马提尼克省。高更博物馆(法语:Centre d'Interprétation Paul Gauguin)位于首府。自194
  • 李德生李德生(1922年10月17日-),中国石油地质学家。出生于上海。籍贯江苏苏州。1945年毕业于国立中央大学地质系。1991年当选为中国科学院学部委员(院士)。2001年当选为第三世界科学院院
  • 阿弗烈·芮克里夫-布朗Alfred Reginald Radcliffe-Brown1881年9月17日 英国伯明翰1955年10月24日 英国伦敦阿尔弗雷德·拉德克利夫-布朗(Alfred Radcliffe-Brown,原名Alfred Brown,1881年9月17日-19
  • 黑森黑森州 (德语:Hessen)是德国的一个联邦州,首府为威斯巴登,州内第一大城市为法兰克福。详见黑森大公国以及拿骚公国。黑森州与北莱茵-西发里亚州、下萨克森州、图林根州、巴伐利亚
  • 外耳耳(耳朵)是动物接收并感知声波,识别方位维持身体平衡的器官,为动物提供听觉。耳可以是整个听觉系统的统称,亦可以仅指露出在身体外的部分(外耳)。在大部分的哺乳类动物中,外露在身体
  • 因约因约国家森林(英语:Inyo National Forest,也译作因尤国家森林)是座美国国家森林,遍布在加利福尼亚州的内华达山脉东部,以及加州、内华达州境内的白山山脉(英语:White Mountains (Cal
  • 拉丁帝国拉丁帝国(1204–1261,拉丁语直译为罗马尼亚帝国),是1204年十字军第四次东征时,攻陷拜占庭帝国的首都君士坦丁堡后建立的国家。鲍德温一世为开国君主。十字军想在拜占庭帝国领土上
  • 白矮星白矮星(white dwarf),也称为简并矮星,是由简并态物质构成的致密天体。它们的密度极高,一颗质量与太阳相当的白矮星体积只有地球一般的大小,微弱的光度则来自过去储存的热能。在太
  • 广野玛齐·庆子·广野(英语:Mazie Keiko Hirono;1947年11月3日-),日本名广野庆子(日语:広野 慶子/ひろの けいこ Hirono Keiko),美国民主党政治人物,是代表夏威夷州的资浅联邦参议员,生于日