三氟化氮

✍ dations ◷ 2025-02-23 20:16:54 #无机胺,氟化物,氮卤化物,温室气体

三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的,可在钙的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。

三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演“清洁剂”的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是“化学气相沉积”(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成分有可能是硅、二氧化硅或其他金属材料,但这些材料不仅会附着在芯片上,也附着在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化硅累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

因此每台CVD机台在处理过规定数量的晶圆片后,就要使用含氟的气体清洗,以去除内壁上的硅化物质。不过NF3与CF4、C2F6等气体都属于多氟碳化物,是造成温室效应的来源之一。半导体厂为了降低排气对温室效应的影响,在排放含氟废气前,会以高温(摄氏700、800度才进行)将气体由有机转分解为无机,才不会破坏臭氧层。

目前全球供应NF3气体的厂商主要有四家,最大供应商为美国的Air Product(APCI),在台代理商是三福化工,其余三家皆为日本公司,分别为三井、关东电化(KDK),以及Central Gas。

相关

  • V03A·B·C·D·G·H·QI·J·L·M·N·P·R·S·VATC代码V03(其它各种治疗用药品)是解剖学治疗学及化学分类系统的一个药物分组,这是由世界卫生组织药物统计方法整合中心(The WHO
  • 喷气孔火山喷气孔(英语:fumarole)是一种地壳裂缝,通常出现于火山附近。火山喷气孔会喷发蒸气及各种气体,如二氧化硫、盐酸和硫化氢,其中喷发硫化物质的,则被称为硫气孔。火山喷气孔会由许
  • 绿党合众国绿党(英语:Green Party of the United States),简称美国绿党(GPUS),是一个在1991年由美国众多州的绿党自愿结合形成的全国性政党。伴随着美国绿党(GPUS)的建立,原先注重于非选举
  • 非特异性症状人体解剖学 - 人体生理学 组织学 - 胚胎学 人体寄生虫学 - 免疫学 病理学 - 病理生理学 细胞学 - 营养学 流行病学 - 药理学 - 毒理学症状(英语:symptom)又称病状,医学术语,在疾
  • 氯甲烷一氯甲烷又称甲基氯,无色、可燃、有毒气体,属有机卤化物。分子式是CH3Cl,分子量是50.49。主要用于生产甲基氯硅烷、聚硅酮、四甲基铅(汽油抗爆剂)、甲基纤维素。少量用于生产季
  • 自杀防制自杀预防(Suicide prevention)是个雨伞术语,是指区域性公民组织、医疗专业(英语:health professional)人士以及其他相关领域的专业人士为了减少自杀发生率而做的各种努力。除了直
  • 明石海峡大桥明石海峡大桥(日语:明石海峡大橋/あかしかいきょうおおはし Akashi Kaikyō Ōhashi */?)是位于日本的本州与淡路岛之间,连接兵库县神户市与淡路市的跨海大桥,为联系本州与淡路
  • 尿液检验试纸尿液检验试纸(英语:Urine test strip)是一种基本的诊断工具,用于确定分析患者中尿液的病理学变化。
  • 英国国王政治主题英国君主(英语:Monarch of the United Kingdom)是英国及其海外领地的君主立宪制国家元首。君主的头衔为“国王”(King)或“女王”(Queen)。现任君主和国家元首为伊丽莎白二
  • 卡拉巴松卡拉巴松(CALABARZON)为菲律宾吕宋的一个大区,地区中心为内湖省卡兰巴,又称Region IV-A,卡拉巴松一词由下辖的五个省份的名称取部分字母组合而成,分别为甲米地省(CAvite)、内湖