梳状致动

梳状致动是驱动器的一种，通常利用两导电梳齿的静电力来进行驱动。

对固定梳齿及移动梳齿施加电压时，两者之间会产生静电力而相互吸引。致动器产生的力量大小，与梳齿间的电容变化成正比；驱动电压的大小、梳齿数量与梳齿间的间隙亦会有所影响。梳齿被设计成不会相互接触 (因为那样就不会产生电压差)。一般来说， 会设计成每个齿都能滑过另一个齿并卡入到相对应的凹槽中。

若将马达的线性运转转换成旋转或其他运动，则可以操纵弹簧、杠杆及曲轴。

静电力可透过最初存储于电容内的电能生成，再进一步区分为斥力或引力。存储于电容中的电能可由以下公式求得：

${\displaystyle E=\frac{1}{2}C{V}^2}$

${\displaystyle F=\frac{1}{2}\frac{\mathrm{\partial <!--\; \partial \; -->}C}{\mathrm{\partial <!--\; \partial \; -->}dx\text{drive}}{V}^2}$

若使用平行导电板作为电容，则产生的力F为：

${\displaystyle F=\frac{-<!--\; -\; -->1}{2}\frac{nt{\mathrm{ϵ<!--\; ϵ\; -->}}_0{\mathrm{ϵ<!--\; ϵ\; -->}}_r{V}^2}{d}}$

${\displaystyle V}$ =施加的电动势， ${\displaystyle {\mathrm{ϵ<!--\; ϵ\; -->}}_r}$ =相对介电常数， ${\displaystyle {\mathrm{ϵ<!--\; ϵ\; -->}}_0}$ =真空介电常数(8.85pF/m)${\displaystyle n}$ =两侧电极的总齿数， ${\displaystyle t}$ =电极板的厚度， ${\displaystyle d}$ =电极之间的间隙。

梳状致动器的应用尺度通常是微米或奈米等级，并透过由块体微加工或表面微加工生成的硅晶薄片加以制成。梳状致动器无法将间隙 (等同于驱动距离) 增加太多。因为间隙越大，所要求的驱动电压就越大。因此这部分会受到电击穿的限制。更重要的一点是，间隙大小的限制等同于对驱动距离的限制。