反应性离子蚀刻法

✍ dations ◷ 2025-07-06 06:25:17 #反应性离子蚀刻法

反应离子刻蚀（英文：Reactive-Ion Etching，或简写为RIE）是一种半导体生产加工工艺，它利用由等离子体强化后的反应离子气体轰击目标材料，来达到刻蚀的目的。气体在低压（真空)环境下由电磁场产生，等离子体中的高能离子轰击芯片表面并与之反应。RIE系统的典型的设备（平行板式）一般包括一个圆柱形真空室，真空室底部放置用来放芯片盘子。盘子与室体的其他部分绝缘。气体由小口注入真空室上部，由底部排出进入真空泵。气体的种类和多少取决于蚀刻的程序。比如，六氟化硫经常用来蚀刻硅。通过调节气体流速以及排气孔，气压一般被保持在几托（Torr）至几百托，其他RIE系统包括感应耦合等离子体RIE（inductively coupled plasma 或者简称ICP RIE）。在这种系统中，气体由射频（RF）供能的磁场所产生。等离子体的浓度可达非常高，但是蚀刻会变得更加各向同性。一个平行板式和感应耦合等离子体式所组合而成的RIE也是可以实现的。这一系统中，ICP用来产生高浓度等离子体来加快蚀刻速率，另一单独加在芯片（硅片）上的射频（RF）偏压用来产生定向电场，以达到各向异性的效果。

相关

KK00-K14 口腔、涎腺和颌疾病K20-K31 食管、胃和十二指肠疾病K35-K38 阑尾疾病K40-K46 疝K50-K52 非感染性肠炎和结肠炎K55-K63 肠的其他疾病K65-K67 腹膜疾病K70-K77 肝疾病
抗菌药物抗细菌药（英语：antibacterial）也称为“抗细菌剂”，是一类用于抑制细菌生长或杀死细菌的药物。在不引起歧义的情况下，抗细菌药也可简称为“抗菌药”，包括抗生素（英语：antibiotic）由微
奥里维亚奥里维亚（希腊语：Óλβια）是米利都人在南布格河河口建立的殖民地，与别列赞岛隔海相望。是此地主要的商业中心，将黑海的谷物、鱼、奴隶等出口到希腊，雅典的货物进口到斯基泰。大
库尔特·勒温库尔特·勒温（Kurt Zadek Lewin，1890年9月9日－1947年2月12日）是一位德裔美国心理学家，他是现代社会心理学、组织心理学和应用心理学的创始人，常被称为“社会心理学之父”，最早研究
柠檬柠檬（学名：Citrus limon）为芸香科柑橘属的一种，是原产于亚洲的常绿小乔木，其果实为黄色椭圆状。柠檬的起源成谜，但是普遍认为其源自缅甸北部与中国。一项针对柠檬基因来源的研究表
香槟酒香槟酒或香槟（英文:Champagne）（法语：vin de Champagne）是产于法国香槟地区（不同于干邑地区的大小香槟区）按照严格的法律规定酿造的的一种葡萄气泡酒。香槟酒需要在葡萄酒瓶中进行二
阿特金森县阿特金森县（英语：Atkinson County）是美国乔治亚州南部的一个县，由划出土地于1917年成立。面积891平方公里。根据美国2000年人口普查，共有人口7,609人，2005年增至8,030人。县治皮尔
望闻问切中医诊断学是根据中医学理论，研究诊查病情、判断病种、辨别证候的基础理论、基本知识和基本技能的一门学科。中医诊断学主要包括诊法学和辨证学两部，两者相互渗透，相互联系。中
古汉语古代汉语是与现代汉语相对而言的，它是汉族祖先及其后代在古代的语言。一般人心目中的古代汉语的面貌在语音上为唐诗宋词等韵文，文字上体现为王羲之、欧阳询、柳公权、颜真卿等
视杆视锥细胞层即视网膜中的视杆视锥细胞层，又称雅各布膜（Jacob's membrane），由两种细胞组成，即视杆细胞和视锥细胞。除视网膜黄斑区外，前者在数量上远较后者为多。