王阳元

✍ dations ◷ 2025-04-29 10:01:24 #王阳元

王阳元（1935年1月1日－），浙江宁波人，中国微电子学家，中国科学院院士，北京大学微电子学研究院院长，信息科学技术学院微电子学系主任，微米/纳米加工技术国家重点实验室主任，美国IEEE Fellow、英国IEE Fellow。他是中国硅栅N沟道MOS技术开拓者之一。1935年1月1日，生于浙江宁波镇海县（现镇海区）。1947年，入读宁波中学。1953年，考入北京大学，1958年毕业。20世纪70年代，主持研制成功中国第一块3种类型1024位MOS动态随机存储器。20世纪80年代，提出多晶硅薄膜“应力增强”氧化模型，工程应用方程和掺杂浓度与迁移率的关系，受国际同行重视。20世纪90年代后期，开始研究微机电系统（MEMS），获得一系列专利。领导研制成功中国首个大型集成化的ICCAD系统。创建中芯国际（SMIC）集成电路制造有限公司。妻子是中国科学院院士杨芙清。

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