乙二胺邻苯二酚

✍ dations ◷ 2025-06-30 13:58:06 #多胺,邻苯二酚,工程学小作品

乙二胺邻苯二酚(Ethylenediamine pyrocatechol,EDP), 也被称为湿蚀刻溶液(EPW),是一种用于硅的非等向性蚀刻溶液。典型的配方包括乙二胺、邻苯二酚、吡嗪和水。本品具有致癌性以及非常强的腐蚀性。主要用于研究实验室里,在主流半导体制程里并无应用。

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