垂直腔面射型激光器

✍ dations ◷ 2025-11-10 11:12:38 #半导体

垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,简称VCSEL,又译垂直共振腔面射型激光)是一种半导体,其激光垂直于顶面射出,与一般用切开的独立芯片制程,激光由边缘射出的边射型激光有所不同。

在制作的过程中,VCSEL比边射型激光多了许多优点。边射型激光需要在制作完成后才可进行测试。若一个边射型激光无法运作,不论是因为接触不良或者是物质成长的品质不好,都会浪费制作过程与物质加工的处理时间。然而VCSEL可以在制造的任何过程中,测试其品质并且作问题处理,因为VCSEL的激光是垂直于反应区射出,与边射型激光平行于反应区射出相反,所以可以同时有数万个VCSEL在砷镓芯片上被处理。此外,既使VCSEL在制造的过程需要较多的劳动与较精细的材料,生产结果是可被控制的及更多可被预期的。

一个激光谐振器是由两面分散式布拉格反射器 (DBR)平行于一个芯片主动反应区表面(英语:active laser medium),此反应区是由一到数个量子井所构成,使激光光带存在于其中。一个平面的DBR是由几层不同高低折射率的透镜所组成。每层透镜的厚度为四分之一的激光波长,并给予超过99%的反射强度。为了平衡在VCSEL中增益区域的短轴长,高反射率的透镜是必要的。

在一般的VCSEL中,较高和较低的两个透镜分别镀上了p型材料和n型材料,形成一个接面二极管。在较为复杂的结构中,p型和n型区域可能会埋在透镜中,使较复杂的半导体在反应区上加工做电路的连接,并除去在DBR结构中电子能量的耗损。

VCSEL的实验室使用新的材料系统做研究,反应区可能会因短波长的外光源(通常是其他激光)而被泵。这使得VCSEL可以在不考虑达到良好的电路品质的额外问题下被论证;然而这样的装置对大多数的应用不是实际的。

波长从650nm到1300nm的典型VCSEL是以砷化镓(GaAs)和铝镓砷化物(AlxGa(1-x)As)构成的DBR所组成的镓砷芯片为基底。GaAs/AlGaAs系统由于材料的晶格常数在组成有变动时,不会有非常强烈的改变,且允许多个复生层成长于砷化镓的底层,所以非常适合用来制造VCSEL。然而,当Al分子增加时,铝镓砷化物的折射率就会变强,与其他系统比较起来,要组成一个有效的布拉格镜,所用的层数就会达到最少。

此外,在铝较集中的部分,一种氧化物会形成AlGaAs,而这种氧化物可以被用来限制VCSEL中的电流,达到低闸值电流的目的。

近来有两种主要的方法来限制VCSEL中的电流,依照其特性分成两种:离子内嵌VCSEL和氧化型VCSEL。

在90年代前期,电子通讯公司较倾向于使用离子内嵌VCSEL。通常使用氢离子H+植入VCSEL结构中,除了共振腔以外的任何地方,用以破坏共振腔周围的晶格结构,使电流被限制。90年代中期,这些公司们纷纷进而使用氧化型VCSEL的技术。氧化型VCSEL是利用VCSEL共振腔周围材料的氧化反应来限制电流,而在VCSEL结构内部含铝较多的金属层会被氧化。氧化型激光也常使用离子内嵌的技术。因此在氧化型VCSEL中,电流的路径就会被离子内嵌共振腔与氧化共振腔所限制。

由于氧化层的张力与其他的缺陷,始得共振腔出现“popping off”,因此最初使用氧化型VCSEL时遭遇到了许多困难。然而,经过了多次的测试,证明了VCSEL的realibilty是很完整的。在Hewlett Packard的氧化型VCSEL研究中指出,“压力会造成氧化型VCSEL的活化能与wearout生命周期相似于内嵌式VCSEL所发出的输出能量大小。”

当工业界要从研究和开发转至氧化型VCSEL的生产模式时,也产生了生产上的困难。氧化层的氧化率与铝的含量有非常大的关系。只要铝的含量有些微的变化,就会改变其氧化率而导致共振腔的规格会过大或过小于标准规格。

波长从1300nm至2000nm的长波长装置,至少已经证实其活化区是由磷化铟所构成。有更长波长的VCSEL是有实验根据的且通常为光学泵。1310nm的VCSEL在硅基光纤的最小波长限度中是较为理想的。

因为VCSEL是从集成电路的顶面发出激光光,所以它们被分割成单独的个体以前,可以直接在芯片上测试。这可以节省半导体制作过程中装置的花费及使用。这也允许VCSEL的制作不再只是一维,而可以是二维的。

较大的VCSEL输出孔径,与大多数边射型激光比较,产生输出光束的一个较低的发散角,并且使光纤的连线效率更高。

与大多数的边射型激光比较,一个高反射率的镜子减少了VCSEL的闸值电流,造成低功率的消耗。然而至今,VCSEL所发射的能量较边射型激光少。较低的闸值电流也允许VCSEL存有高本质的调整带宽。

VCSEL的波长在反应区的获得带中,可以借由调节反射层的厚度而改变。

第一个VCSEL是在1979年由Soda, Iga, Kitahara and Suematsu (Soda 1979)所发表,但是直到1988年以前,室温下的等幅波控制未曾被报告。VCSEL这名词是在1987年时,被杜撰于美国光学协会(Optical Society of America)出版物上。如今VCSEL以取代边射型激光而应用在短程的光纤通讯上,如以太网路和纤维通道(Fibre Channel)。

相关

  • 谷氨酸二钠谷氨酸二钠(化学式:Na2C5H7NO4)是谷氨酸的二钠盐。一般为左旋谷氨酸二钠,由左旋谷氨酸制得。白色结晶性粉末,有蛋白胨样肉臭味。易溶于水,微溶于乙醇。由谷氨酸与氢氧化钠或碳酸钠
  • 佛山镇佛山镇曾是中国广东省南海县下辖的一个镇,在明清时期名列“四大名镇”和“天下四聚”,佛山市的“佛山”就来自于佛山镇,初由佛山镇升格而来。佛山镇的区域大致位于现时佛山市禅
  • SERT· protein binding · monoamine transmembrane transporter activity · serotonin transmembrane transporter activity · myosin binding · syntaxin-1 binding
  • 软骨硬鳞鱼软骨硬鳞亚纲(学名:Chondrostei)又名软质亚纲,为脊索动物门辐鳍鱼纲的一个亚纲,是辐鳍鱼纲的基群,保留了辐鳍鱼类一些原始的祖征,如软骨脊索等。软骨硬鳞鱼类具有骨质脑颅,但大部分
  • 泽兰语泽兰语(泽兰语:Zeêuws;荷兰语:Zeeuws)又称西兰语,是荷兰语的方言之一,使用者主要居住在泽兰省和南荷兰省的部分地区。泽兰语虽然被视为荷兰语的方言,但除了发音之外,在文法和词汇上
  • 日本以外地区出版的日本漫画杂志列表本列表列出在日本以外地区出版的著名漫画杂志。鉴于并非每本杂志都能自行出版其漫画单行本或有权连载日本国内出版的漫画,本列表的选取标准为:杂志曾拥有连载漫画,或拥有部分值
  • 张宗观张宗观(?-?),字朗屋,山阴人,明末清初诗人。生平有大志,“以王霸之界自许”。其诗恢奇磊落,乐府古风更是上品。宗观见到诗人就骂: “此雕虫之徒也。”与朱士稚齐名,人称“山阴二朗”。朱
  • 卡尔·塞茨卡尔·塞茨(Karl Seitz,1869年9月4日-1950年2月3日)是奥地利第一共和国第一任总统(1919年-1920年)。塞茨生于维也纳,是一个煤炭贸易商的儿子。1875年在他的父亲去世后,他家庭陷入了贫
  • 邹加怡邹加怡(1963年6月-),女,江苏无锡人,中华人民共和国政治人物。1984年2月加入中国共产党。先后毕业于国际关系学院和中国社会科学院研究生院,获经济学硕士学位。之后长期在财政部任职
  • 佐佐木主浩NPBMLB佐佐木主浩(1968年2月22日-),出身于日本宫城县仙台市,前日本职业棒球选手曾经效力过日本职棒横滨海湾星及美国大联盟西雅图水手。现为棒球评论员、解说员,绰号“大魔神”。1