多重图形

✍ dations ◷ 2025-11-10 02:15:45 #半导体器件制造

多重图形(Multiple patterning)是指一种在半导体制造过程中的技术。在光刻过程中使用了多重图形曝光增强了制作图形的密度。

尽管极紫外光刻将在下一代光刻中作为一个选项,但是这个仍然需要额外一次曝光。

多重图形的最简单形式是将图形分离成二个或者三个部分。每个部分按照通常的制程方法进行制作。整个图形最终会合并形成最终的图层。这种方法有时称为中心距分离,也会被称为光照-刻蚀-光照-刻蚀(LELE)。

这种技术用于20纳米制程、14纳米制程等。额外暴光的成本在相关制程中可以承受。一个重要的关注点是多次暴光中的图形交叠问题。自对准多重暴光技术成功的引入解决这一问题。

侧壁是一个通过将预图形两边淀积而产生的物质。

由于侧壁使用的是hardmask材料,它们的后刻蚀图形质量非常重要。

相关

  • 梅尔维尔赫尔曼·梅尔维尔(Herman Melville,1819年8月1日-1891年9月28日)是美国小说家、散文家和诗人,也担任过水手、教师,最著名的作品是《白鲸记》。其作品《泰皮》(Typee)获得社会大众相
  • 沃克县沃克县(Walker County, Georgia)是美国乔治亚州西北部的一个县,北邻田纳西州,西南邻阿拉巴马州。面积1,158平方公里。根据美国2000年人口普查,共有人口61,053人,2005年人口63,890
  • 1960年1960年美国人口普查(英语:1960 United States Census)是美国历史上第18次全国人口普查,确定了美国的常住人口为179,323,175人,相比1950年美国人口普查,同比增长为18.5。
  • 许立明许立明(1969年1月17日-),中华民国政治人物,出生于台湾云林县麦寮乡,曾任高雄市代理市长。姐姐许淑芬,现任台南市政府新闻及国际关系处处长,曾任民进党中国事务部副主任,及前行政院长
  • 麦角酸二乙酰胺}}麦角酸二乙酰胺(Lysergic acid diethylamide,德文 Lyserg-Säure-Diäthylamid),常简称为LSD,是一种强烈的半人工致幻剂。它由麦角酸中合成,对氧气、紫外线与氯十分敏感(尤其是当
  • 丁元荐丁元荐(1560年-1625年),字长孺,号慎所。明浙江承宣布政使司湖州府长兴县(今浙江省长兴县)人,曾在广东等地任职,历仕礼部、刑部,官至刑部检校、尚宝司少卿。事迹具《明史》本传。丁元荐
  • 朱娜·巴恩斯朱娜·巴恩斯(Djuna Barnes,1892年6月12日-1982年6月18日)是一位美国作家和艺术家,以她的小说《夜林(英语:Nightwood)》(,1936年)而闻名,它是女同性恋文学的邪典经典,也是现代主义文学的
  • 1995年至1996年德国足球乙级联赛波鸿, 比勒费尔德和杜伊斯堡升入德甲。资料来源:Bundesliga.de 排名规例: 1).积分;2).得失球差;3).入球。 汉诺威96 降入德国足球地区联赛北区联赛, 开姆尼茨 降入德国足球地区
  • 禁色 (小说)禁色,日本战后小说大家三岛由纪夫的长篇小说,第一部和第二部・秘楽由新潮社分别于1951年与1953年发行。以男色为主轴,展现了三岛由纪夫对希腊风格的向往及对法国小说心理描写传
  • 1933-34球季英格兰足总杯1933/34球季英格兰足总杯(英语:FA Cup),是第59届英格兰足总杯,今届赛事的冠军是曼城,他们在决赛以2:1击败朴茨茅斯,夺得冠军。本届赛事继续在旧温布莱球场举行。曼城在去届于决赛饮