李志坚(1928年5月1日-2011年5月2日),男,浙江宁波人,中国电子学家,中国科学院院士,清华大学微电子学研究所原所长。
1951年,毕业于浙江大学物理系,获分配到上海同济大学任教。1958年,获苏联列宁格勒大学科学副博士学位。曾长期任清华大学微电子学研究所长。1991年,被选为中国科学院院士。
曾任清华大学教授,清华大学信息科学与技术学院学术委员会委员,中国电子学会荣誉会员,国家科学技术名词委员会委员,中国微纳米技术学会名誉副理事长,《电子学报》、《半导体学报》和《传感技术学报》编委。
曾担任国际固体器件与集成电路技术(IC SICT93,95)、固体材料与器件(ssdm95,98-2004)、国际电子、电气工程师学会第十区会议(TECON96)等诸多国际学术会议的大会主席、程序委员会委员或国际顾问委员会委员等。
1953年,开始半导体研究,曾成功提出薄膜光导体的晶粒电子势垒理论,对中国早期半导体器件制造技术发展做出了重大贡献。60年代初,研制出超纯多晶硅合金硅晶体管、高反压平面晶体管。对MOS结构和Si/SiO2界面物理有深入研究。1965年,开始集成电路的研究。80年代,主持研制成功2KEEPROM、16K位SRAM、16位微处理器等VLSI芯片。90年代,致力于半导体系统集成芯片技术的研究和开发,有多项成果。
在电子学领域持有多项美国专利。