EUV

✍ dations ◷ 2025-09-04 06:08:18 #EUV

极紫外光微影、超紫外线平版印刷术（英语：Extreme ultraviolet lithography，亦称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长的下一代微影（英语：next-generation lithography）技术，目前预期使用13.5纳米，预计将于2020年得到广泛应用用。透过高能量、波长短的光源，将电路图案转印到晶圆。EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍，因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。然而EUV光罩与传统的光罩截然不同，当采用13.5nm波长的极紫外光微影技术时，所有的光罩材料都是不透光的，因此具复合多涂层反射镜的光罩可将电路图案反射到晶圆上。这种多层膜EUV光罩一方面可维持光罩的反射率，但另一方面会在临界线宽、轮廓、刻线边缘粗糙度、选择性和缺陷控制方面造成独特的蚀刻晚了10多年。

相关

三磷酸腺苷合酶三磷酸腺苷合酶或ATP合酶，三磷酸腺苷酶（ATPase）的一种，在这里并特指F类的FoF1ATP合酶（F Type FoF1 ATP Synthase）。它利用呼吸链产生的质子的电化学势能，通过改变蛋白质的结构来进
CO碳－氧键是指碳原子和氧原子之间形成的共价键，这是有机化学和生物化学中最常见的化学键之一。氧原子具有6个价电子，倾向于与碳原子共用两个电子形成化学键，剩下的四个非键电子形
facade立面（英语：facade、法语：façade，IPA: /fa 'sad/），建筑学术语，一般指建筑物的外墙——尤其是正面，但亦可指侧面或背面。这个词汇源自法文，意思是房子的正面或面孔。在建筑学中，建筑物
杉树杉木（学名：Cunninghamia lanceolata）又称福州杉、刺杉，为柏科杉木属植物。原产于中国及越南，并有一变种峦大杉，分布在台湾，模式标本采自浙江舟山。常绿乔木，高可达30米以上；树冠常呈
伊利诺大学伊利诺伊大学（英语：University of Illinois，缩写为UI或U of I）创建于1867年，是美国伊利诺伊州的一个大学系统，包括厄巴纳-尚佩恩、芝加哥、斯普林菲尔德三个分校。伊利诺伊大学厄
亡神星亡神星（小行星90482，奥迦斯）是柯伊伯带的天体，被发现时的临时编号为2004 DW，发现者是加州理工学院的迈克尔·布朗、双子星天文台的乍德·特鲁希略和耶鲁大学的大卫·拉比诺维茨。
罗伯·巴拉德罗伯·杜安·巴拉德（Robert Duane Ballard，1942年6月30日－）是一位美国海军退役中校，现在罗德岛大学担任海洋学教授。他知名于水下考古学（英语：Underwater archaeology），尤其是海洋考
π轨道在化学与原子物理学中，π轨道（英语：π orbital）是一种分子轨道。是形成π键后所产生的分子轨道。π轨道是一种由轨道并肩重叠后所形成的新轨道。π轨道是一种由轨道并肩重叠后所
电影摄影机电影摄影机是一种摄影相机。相对于静态相机只捕捉瞬间的单一快照，电影摄影机可透过间歇性机构连续快速拍摄“系列影像”（帧／影格／画面）于底片条上，随后再透过电影放映机以特定速度
内消旋体内消旋化合物是含有超过两个手性碳原子但没有旋光性的化合物。例如，酒石酸的一种异构体就是内消旋化合物，这是由于其分子有对称平面。一般情况下，如果分子含有超过两个手性碳原