EUV

✍ dations ◷ 2025-10-20 15:57:45 #EUV

极紫外光微影、超紫外线平版印刷术（英语：Extreme ultraviolet lithography，亦称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长的下一代微影（英语：next-generation lithography）技术，目前预期使用13.5纳米，预计将于2020年得到广泛应用用。透过高能量、波长短的光源，将电路图案转印到晶圆。EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍，因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。然而EUV光罩与传统的光罩截然不同，当采用13.5nm波长的极紫外光微影技术时，所有的光罩材料都是不透光的，因此具复合多涂层反射镜的光罩可将电路图案反射到晶圆上。这种多层膜EUV光罩一方面可维持光罩的反射率，但另一方面会在临界线宽、轮廓、刻线边缘粗糙度、选择性和缺陷控制方面造成独特的蚀刻晚了10多年。

相关

教宗教宗（拉丁语：Papa），或译教皇（华语圈外国家如韩国、日本、越南与部分教外人士目前仍沿用之），是罗马主教，同时为普世天主教会领袖与梵蒂冈城国国家元首，传统上被认为是圣伯多禄宗徒之位
Hsub2/subSsub2/subOsub8/sub过二硫酸（或称为“过氧二硫酸”、“过硫酸”或“马歇尔酸”）是一种硫的含氧酸，分子式为H2S2O8 。其结构可以表示为HO3SOOSO3H。虽然过二硫酸分子中的硫的氧化态为+6，但因为该分
苏布拉马尼扬·钱德拉塞卡苏布拉马尼扬·钱德拉塞卡，FRS（泰米尔语：சுப்பிரமணியன் சந்திரசேகர்，英语：Subrahmanyan Chandrasekhar，1910年10月19日－1995年8月15日），印度裔美国籍物理学
曹　镛曹镛（1941年10月14日－），湖南长沙人，高分子化学家，中国科学院院士。曹镛于1965年毕业于列宁格勒大学化学系。回国后任职于中国科学院化学所。1979年至1981年间曾前往日本东京大学进
同源性磷酸酶-张力蛋白1D5R, 2KYL· phosphatidylinositol-3-phosphatase activity · phosphoprotein phosphatase activity · protein serine/threonine phosphatase activity · protein t
超渡超渡或超度（度通渡），也称超荐等，起源于汉传佛教，通用于道教、中国民间宗教的术语，本意是帮助有情众生离苦得乐，在汉语中引申为亡者祈求冥福的法事。起源于唐代开元年间，由唐玄宗下令
烙铁烙铁是软钎焊时用来热熔焊料的工具，结构组成上为一个隔热的手柄(多为塑料或木质)内有一发热体，发热体外则套上了金属质的烙铁头(多为尖型)，金属尖端透过发热体的热能传焊料使之
威廉·海德·沃拉斯顿威廉·海德·沃拉斯顿（英语：William Hyde Wollaston 1766年8月6日－1828年12月22日）英国化学家、物理学家，以发现化学元素钯和铑而知名。1802年，他观察到了太阳光谱中的暗线，即夫琅
729年前9世纪 | 前8世纪 | 前7世纪前740年代前730年代 | 前720年代 | 前710年代前700年代前734年前733年前732年前731年前730年 | 前729年 | 前728年前727年前726年前7
阿玛乌奈特阿玛乌奈特(“Amunet”，/ˈæməˌnɛt/；也拼写为“Amont”或“Amaunet”)是古埃及宗教中的一位原始女神。八元神成员之一，阿蒙神的配偶。其形象为一条蛇，或蛇首女身，头戴下埃及