EUV

✍ dations ◷ 2025-11-11 14:19:51 #EUV

极紫外光微影、超紫外线平版印刷术（英语：Extreme ultraviolet lithography，亦称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长的下一代微影（英语：next-generation lithography）技术，目前预期使用13.5纳米，预计将于2020年得到广泛应用用。透过高能量、波长短的光源，将电路图案转印到晶圆。EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍，因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。然而EUV光罩与传统的光罩截然不同，当采用13.5nm波长的极紫外光微影技术时，所有的光罩材料都是不透光的，因此具复合多涂层反射镜的光罩可将电路图案反射到晶圆上。这种多层膜EUV光罩一方面可维持光罩的反射率，但另一方面会在临界线宽、轮廓、刻线边缘粗糙度、选择性和缺陷控制方面造成独特的蚀刻晚了10多年。

相关

菲尔德自然史博物馆www.fieldmuseum.org菲尔德自然史博物馆（英语：Field Museum of Natural History）是位于美国伊利诺伊州芝加哥，创立于1893年. 该博物馆收藏超过2100万件的标本。现存最完整的暴龙
X射线天文学X射线天文学是以天体的X射线辐射为主要研究手段的天文学分支。X射线天文学中常以电子伏特（eV）表示光子的能量，观测对象为0.1keV到100keV的X射线。其中又将0.1keV-10keV的X射线
约翰·斯塔利约翰·斯塔利(John Kemp Starley，1854年－1901年)，英国发明家，和詹姆斯·斯塔利（英语：James Starley）一起对自行车和三轮车作出了重大改进，是英国自行车工业之父。约翰·斯塔利生于英
第一性征生物性别（英语：sex）又称生殖性别或生理性别、生物中有许多物种可以划分成雄性及雌性，不过也有些会是间性。有性生殖是指雄性和雌性生物将其基因特质混合重组，繁衍后代的过程。配
五福商圈五福商圈，位于高雄市新兴区与前金区，和三多商圈、梦时代商圈、巨蛋商圈并列高雄四大商圈。商圈包含大统五福店、大立百货、新堀江、新兴高中、汉来大饭店(汉神百货、汉来大饭
用户代理用户代理（英语：User Agent）在计算机科学中指的是代表用户行为的软件代理程序（英语：Software agent）所提供的对自己的一个标识符。例如，一个电子邮件阅读器就是一个电子邮件客户端，而
span class=nowrapNpClsub3/sub/span三氯化镎或氯化镎(III)，是一种无机化合物，化学式NpCl3，有强放射性。三氯化镎可由氢气或氨气在350~400℃还原四氯化镎得到：三氯化镎在450℃可以水解，产生NpOCl。
三冢博三冢博（1927年8月1日－2004年4月25日）是一名日本政治家，曾经担任众议院议员（10期）。第一次中曾根内阁（模板）第一次改造内阁 - 第二次改造内阁（1983年12月27日—1986年7月22日）第三次中
TNT2,4,6-三硝基甲苯（英文：Trinitrotoluene，缩写：TNT）常见炸药之一，至今仍大量应用在军事和工业领域上。它的IUPAC命名是2-甲基-1,3,5-三硝基苯（2-methyl-1,3,5-trinitrobenzene），由甲苯
胶原螺旋结构 / ECOD在胶原蛋白中，胶原三螺旋（或称为2型螺旋）是其中的主要二级结构。它是由重复的氨基酸序列Gly-X-Y形成的三股螺旋（英语：triple helix），其中的X和Y常常是脯氨酸或羟脯氨酸