EUV

✍ dations ◷ 2025-12-02 07:52:58 #EUV

极紫外光微影、超紫外线平版印刷术（英语：Extreme ultraviolet lithography，亦称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长的下一代微影（英语：next-generation lithography）技术，目前预期使用13.5纳米，预计将于2020年得到广泛应用用。透过高能量、波长短的光源，将电路图案转印到晶圆。EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍，因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。然而EUV光罩与传统的光罩截然不同，当采用13.5nm波长的极紫外光微影技术时，所有的光罩材料都是不透光的，因此具复合多涂层反射镜的光罩可将电路图案反射到晶圆上。这种多层膜EUV光罩一方面可维持光罩的反射率，但另一方面会在临界线宽、轮廓、刻线边缘粗糙度、选择性和缺陷控制方面造成独特的蚀刻晚了10多年。

相关

迪奥科里斯佩达努思·迪奥斯科里德斯（古希腊语：Πεδάνιος Διοσκουρίδης；拉丁语：Pedanius Dioscorides），（约40年－90年）。古罗马时期的希腊医生与药理学家，曾被罗马军队聘为军
辅酶A辅酶A（英语：coenzyme A，简称CoA、CoASH或HSCoA）是一种辅酶，值得注意的是其在合成和氧化脂肪酸的角色，和在三羧酸循环中氧化丙酮酸。所有基因组测序日期编码的酶，即利用辅酶A作为底
希腊正教希腊正教会（希腊语：Ελληνορθόδοξη Εκκλησία，英语：Greek Orthodox Church）是罗马帝国国家教会分裂后，罗马正教会的几个教会统称，其神学根植于早期教父以及拜占
亚特兰提斯号航天飞机亚特兰蒂斯号航天飞机（STS Atlantis OV-104）是美国国家航空航天局（NASA）肯尼迪航天中心（KSC）旗下，第四架实际执行太空飞行任务的航天飞机。它与发现号是姊妹机，属于NASA第二批制造的
平行运算并行计算（英语：parallel computing）一般是指许多指令得以同时进行的计算模式。在同时进行的前提下，可以将计算的过程分解成小部分，之后以并发方式来加以解决。电脑软件可以被分成
集体安全条约组织集体安全条约组织（CSTO ;俄语：Организация Договора о Коллективной Безопасности，缩写作 ОДКБ）是1992年5月15日签署的政府间
小皇宫小皇宫（Petit Palais）位于法国巴黎，现为小皇宫美术馆。小皇宫由建筑师查理吉罗（Charles Girault）建造，和大皇宫一样曾是1900年万国博览会展览场。与许多人想像的相反，在原巴黎工业
省会城市中华人民共和国共分为34个一级行政区，即4个直辖市、23个省、5个自治区、2个特别行政区。除了直辖市和特别行政区以外，每一个行政省都有一个省会。省会，或称省治、制所、省汇，清
德国古典哲学德国古典哲学一般是指康德、费希特、谢林、黑格尔和费尔巴哈的哲学，是代表西方近代哲学的最高阶段。它继承了由德国哲学家莱布尼茨代表的唯理主义倾向，同时又受到了苏格兰启蒙
2015年的下议院选举斯蒂芬·哈珀保守党贾斯汀·特鲁多自由党2015年加拿大联邦大选（正式称为第42届加拿大大选）于2015年10月19日举行，选出第42届加拿大国会下议院的338名议员。时任总理斯蒂芬·