乙硅烷基膦是一种无机化合物,化学式为H5Si2PH2,它可由乙硅烷和磷化氢无声放电得到,或由溴乙硅烷和四膦基铝酸锂反应制得。它可以水解,并放出磷化氢:
它和三氟化硼在低温反应,可以得到氟甲硅烷、磷化氢等产物。