光刻机

✍ dations ◷ 2025-06-08 09:35:28 #半导体器件制造,电子技术

光刻机(英语:Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种,分别是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;以及利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。

生产集成电路的简要步骤:

其中光刻机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。

一片晶圆可以制作数十个集成电路,根据模版曝光机分为两种:

其中模版随光刻机移动的方式,模版相对光刻机中心位置不变,始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为目前的主流。

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机价格昂贵,通常在 3 千万至 5 亿美元。

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