物理气相沉积

✍ dations ◷ 2025-10-30 14:25:11 #工艺,制造,半导体物理学,半导体器件制造

物理气相沉积(英语:Physical vapor deposition,PVD)是一种工业制造上的工艺,是主要利用物理过程来沉积薄膜的技术,即真空镀膜(蒸镀),多用在切削工具与各种模具的表面处理,以及半导体装置的制作工艺上。

和化学气相沉积相比,物理气相沉积适用范围广泛,几乎所有材料的薄膜都可以用物理气相沉积来制备,但是薄膜厚度的均匀性是物理气相沉积中的一个问题。

主要的物理气相沉积的方法有:

相关

  • 酶类酶(英语:Enzyme(/ˈɛnzaɪm/ )),是一类大分子生物催化剂。酶能加快化学反应的速度(即具有催化作用)。由酶催化的反应中,反应物称为底物,生成的物质称为产物。几乎所有细胞内的代谢过
  • 原核细胞原核生物(英文:prokaryote)是通常由单一原核细胞形成的生物。相对于真核细胞,原核细胞一般没有细胞内膜、没有核膜包裹的成型细胞核,细胞内无染色体,DNA链未螺旋化,并以游离的形式
  • 海录海录是中国清代的一部地理著作,由谢清高口述,杨炳南笔录。于1820年刻印发行。书中介绍了全世界九十五个国家,是研究18世纪后期中西交通史和东南亚华侨史的重要资料。林则徐在广
  • 释名《释名》是东汉刘熙(或又作刘熹)撰写的一部训诂专著,以探求词源为主要目的,以声训为主要手段,是汉语中第一部解释事物命名缘由的专书:382。全书共8卷27篇。明朝郎奎金在将《释名
  • 平户岛坐标:33°22′5″N 129°33′13″E / 33.36806°N 129.55361°E / 33.36806; 129.55361平户岛位于日本长崎县北松浦半岛西方,东西最宽约10公里,南北长约32公里,面积为163.42平方
  • I-20鼓楼站可以指:
  • 胖吉猫胖吉猫(英语:Pusheen)又称胖吉喵,是美国插画师克莱儿.贝尔顿(英语:Claire Belton)根据她领养的猫咪(现在与克莱儿(英语:Claire Belton)的父母生活在一起)所设计出的角色,是一只灰色大花猫,
  • 聂斯特河沿岸铁路聂斯特河沿岸铁路是经营管理聂斯特河沿岸国内铁路的机构。聂斯特河沿岸国内首条条目通车于1867年。二战期间,聂斯特河沿岸国内众多铁路设施都被拆除。战后得到重建。2004年,由
  • 周口站周口站,位于中华人民共和国河南省周口市川汇区,是漯阜铁路上的火车站,建于1975年,2013年12月26日新站房开通营运,由武汉铁路局管辖。
  • 5-乙炔基-2'-脱氧尿苷5-乙炔基-2'-脱氧尿苷(英语:5-Ethynyl-2'-deoxyuridine,简称为EdU)是一种新型胸苷类似物,可掺入分裂中的细胞。较高剂量时会有细胞毒性。EdU可被一种荧光叠氮化物检出,后者通过点