物理气相沉积

✍ dations ◷ 2025-08-16 07:09:27 #工艺,制造,半导体物理学,半导体器件制造

物理气相沉积(英语:Physical vapor deposition,PVD)是一种工业制造上的工艺,是主要利用物理过程来沉积薄膜的技术,即真空镀膜(蒸镀),多用在切削工具与各种模具的表面处理,以及半导体装置的制作工艺上。

和化学气相沉积相比,物理气相沉积适用范围广泛,几乎所有材料的薄膜都可以用物理气相沉积来制备,但是薄膜厚度的均匀性是物理气相沉积中的一个问题。

主要的物理气相沉积的方法有:

相关

  • Bacillus licheniformis地衣芽孢杆菌(学名:Bacillus licheniformis)是一种在土壤中常见的细菌。在鸟类,特别是居住在地面的鸟类(如雀科)和水生的鸟类(如鸭)的羽毛中也能找到这种细菌,特别是胸部和背部的羽毛
  • 新竹消防博物馆新竹市消防博物馆,为台湾新竹市的一座消防博物馆,馆舍兴建于1936年,原本是新竹市消防局,主体建筑由六层楼的钟楼与二层楼的办公室组成。在日治时期,该建筑是全新竹市最高的建筑。
  • 巴马科巴马科(Bamako)是西非国家马里的首都,名称源自班巴拉语,意为“鳄鱼之河”,也是该国最大城市,政治、经济中心。位于尼日尔河畔。2017年人口1,297,281。1908年,巴马科成为法属苏丹的
  • 潘安邦潘安邦(1954年9月10日-2013年2月3日),台湾校园民歌歌手与电视节目主持人,生于台湾澎湖县马公市笃行十村(今金龙头眷村保留区),马公高中毕业。潘安邦是家中长子,另有三弟。潘安邦的父
  • CV-35 复仇号复仇号航空母舰(USS Reprisal CV-35)是一艘隶属于美国海军的未完成航空母舰,原为埃塞克斯级航空母舰的十八号舰。她是美军第三艘以复仇为名的军舰。复仇号在1944年7月1日开始建
  • 毛发内生毛发内生是指毛发倒卷刺入皮肤或沿着表皮下层生长,可能伴随毛囊炎发生而呈现红色隆起的疙瘩。毛发内生常见于除毛后的皮肤,特别好发于皮肤较柔软的部位,如腿部,或其他任何部位,新
  • 筏驮摩那筏驮摩那,或译笩駄摩那、伐达摩那(梵语:वर्धमान Vardhamāna,约前599年-前527年,意谓光荣者),原名尼乾陀若提子(Nigaṇṭha jñāta putta),或尼干子,或尼犍,著名古印度宗教思想家
  • 陈浩亮陈浩亮(1933年5月5日-)出生于汕头,新加坡举重运动员,也是2008年北京奥运会之前唯一为新加坡夺得奥运会奖牌的运动员。1960年9月9日,陈浩亮于罗马夏季奥林匹克运动会上,以380公斤总
  • 蔡正国蔡正国(1909年-1953年),江西永新县丰田村人,中国人民解放军军事将领。1932年,参加中国工农红军。1934年,参加长征,任红三军团教导营一连支部书记。抗日战争期间,参加平型关战斗,担任11
  • 萨弼萨弼(?-1655年),满洲爱新觉罗氏。清太祖努尔哈赤曾孙、广略贝勒褚英之孙、安平贝勒杜度第七子。崇德七年(1642年),其长兄杜尔祜得罪,萨弼从坐,被废黜宗室资格。顺治元年(1644年),萨弼跟从